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1. WO2007129567 - サーバ装置、およびプログラム

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[ JA ]

請求の範囲

[1] 被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置と、当該複数の製造装置 と接続されてヽるサーバ装置を具備し、異常検知を行う機能を有する群管理システム を構成するサーバ装置であって、

前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造 装置で製造する製品のゥヱーハ枚数である製品ゥヱーハ枚数と時刻を示す時刻情 報を有する情報である測定情報を、複数格納し得る測定情報格納部と、

製品ゥーハ枚数に関する条件である製品ゥーハ枚数条件を含む出力情報の出 力指示を受け付ける指示受付部と、

測定情報が異常か否かを判断するための条件を示す条件情報を格納している条件 情報格納部と、

前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ゥーハ 枚数条件に合致する複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読 み出した複数の測定情報が、前記条件情報に合致するか否かを判断する異常検知 部と、

前記異常検知部の判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報構成部と、 前記出力情報構成部が構成した出力情報を出力する出力部を具備するサーバ装置

[2] 前記測定情報は、

前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造 装置を識別する装置識別子と製品ゥーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、 前記出力情報の出力指示は、

製品ゥエーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、

前記異常検知部は、

前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ゥーハ 枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを有する 複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報が 、前記条件情報に合致するか否かを判断する請求項 1記載のサーバ装置。

[3] 前記測定情報は、

前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識 別するレシピ識別子と製品ゥヱーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、 前記出力情報の出力指示は、

製品ゥエーハ枚数条件と一以上のレシピ識別子を有し、

前記異常検知部は、

前記指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ゥーハ 枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれかを有す る複数の測定情報を前記測定情報格納部から読み出し、当該読み出した測定情報 力 前記条件情報に合致するか否かを判断する請求項 1記載のサーバ装置。

[4] 前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信 する元情報受信部と、

前記元情報受信部が受信した複数の元情報に対して所定の演算を行、、複数の測 定情報を取得する測定情報取得部と、

前記測定情報取得部が取得した複数の測定情報を前記測定情報格納部に蓄積す る測定情報蓄積部をさらに具備する請求項 1記載のサーバ装置。

[5] 前記指示受付部が出力指示を受け付けたことをトリガーとして、

前記異常検知部は、

前記測定情報取得部が次々に取得する測定情報に対して、前記条件情報に合致す るか否かを判断し、

前記出力情報構成部は、

前記異常検知部の判断結果に応じた出力情報を次々に構成し、

前記出力部は、

前記出力情報構成部が構成した出力情報を更新しながら出力する請求項 4記載の サーバ装置。

[6] 前記出力情報構成部は、

前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子 ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報が 有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットした チャートである SPCチャートを構成し、

前記出力部は、

前記出力情報構成部が構成した SPCチャートを出力する請求項 1記載のサーバ装 置。

[7] 前記出力情報構成部は、

前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子 ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報の 相関を示すチャートである相関チャートを構成し、

前記出力部は、

前記出力情報構成部が構成した相関チャートを出力する請求項 1記載のサーバ装 置。

[8] 前記出力情報構成部は、

前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、装置識別子 ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定情 報の相関を示すチャートである MDチャートを構成し、

前記出力部は、

前記出力情報構成部が構成した MDチャートを出力する請求項 1記載のサーバ装置

[9] 前記出力情報構成部は、

前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別 子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、一種類の測定情報 が有する時刻情報が示す時刻の順に、前記読み出した複数の測定情報をプロットし たチャートである SPCチャートを構成し、

前記出力部は、

前記出力情報構成部が構成した SPCチャートを出力する請求項 1記載のサーバ装 置。

[10] 前記出力情報構成部は、

前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別 子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、二種類の測定情報 の相関を示すチャートである相関チャートを構成し、

前記出力部は、

前記出力情報構成部が構成した相関チャートを出力する請求項 1記載のサーバ装 置。

[11] 前記出力情報構成部は、

前記異常検知部が前記測定情報格納部から読み出した測定情報から、レシピ識別 子ごとの測定情報が視覚的に区別できる態様のチャートであり、三種類以上の測定 情報の相関を示すチャートである MDチャートを構成し、

前記出力部は、

前記出力情報構成部が構成した MDチャートを出力する請求項 1記載のサーバ装置

[12] コンピュータに、

被処理基板に対する所定のプロセスを行う複数の製造装置で測定された情報につ いての時系列の情報であり、前記製造装置で製造する製品のゥーハ枚数である製 品ゥ ーハ枚数と時刻を示す時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納し ており、

製品ゥーハ枚数に関する条件である製品ゥーハ枚数条件を含む出力情報の出 力指示を受け付ける指示受付ステップと、

前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ゥ ーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した複数の測 定情報が、格納して、る条件情報に合致するか否かを判断する異常検知ステップと

前記異常検知ステップにおける判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報ス テツプと、

前記出力情報構成ステップで構成した出力情報を出力する出力ステップを実行させ るためのプログラム。

[13] 前記測定情報は、

前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、前記製造 装置を識別する装置識別子と製品ゥーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、 前記出力情報の出力指示は、

製品ゥエーハ枚数条件と一以上の装置識別子を有し、

前記異常検知ステップにおいて、

前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ゥ エーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上の装置識別子のいずれかを 有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報に 合致する力否かを判断する請求項 12記載のプログラム。

[14] 前記測定情報は、

前記複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、レシピを識 別するレシピ識別子と製品ゥヱーハ枚数と時刻情報を有する情報であり、 前記出力情報の出力指示は、

製品ゥエーハ枚数条件と一以上のレシピ識別子を有し、

前記異常検知ステップにおいて、

前記指示受付ステップで出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ゥ エーハ枚数条件に合致し、当該出力指示が含む一以上のレシピ識別子のいずれか を有する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した測定情報が、前記条件情報 に合致する力否かを判断する請求項 12記載のプログラム。

[15] コンピュータに、

前記複数の測定情報の元になる情報である元情報を前記複数の製造装置から受信 する元情報受信ステップと、

前記元情報受信ステップで受信した複数の元情報に対して所定の演算を行!、、複 数の測定情報を取得する測定情報取得ステップと、

前記測定情報取得ステップで取得した複数の測定情報を蓄積する測定情報蓄積ス テツプをさらに実行させるための請求項 12記載のプログラム。

[16] 前記指示受付ステップにおいて出力指示を受け付けたことをトリガーとして、 前記異常検知ステップにおいて、

前記測定情報取得ステップで次々に取得する測定情報に対して、前記条件情報に 合致するか否かを判断し、

前記出力情報構成ステップにおいて、

前記異常検知ステップでの判断結果に応じた出力情報を次々に構成し、 前記出力ステップにおいて、

前記出力情報構成ステップで構成した出力情報を更新しながら出力する請求項 15 記載のプログラム。