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1. WO2007129567 - サーバ装置、およびプログラム

公開番号 WO/2007/129567
公開日 15.11.2007
国際出願番号 PCT/JP2007/058791
国際出願日 24.04.2007
予備審査請求日 11.09.2007
IPC
H01L 21/02 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
G05B 19/418 2006.01
G物理学
05制御;調整
B制御系または調整系一般;このような系の機能要素;このような系または要素の監視または試験装置
19プログラム制御系
02電気式
418総合的工場管理,すなわち,複数の機械の集中管理,例.直接または分散数値制御(DNC),フレキシブルマニュファクチャリングシステム(FMS),インテグレーテッドマニュファクチャリングシステム(IMS),コンピュータインテグレーテッドマニュファクチャリング(CIM)
G05B 23/02 2006.01
G物理学
05制御;調整
B制御系または調整系一般;このような系の機能要素;このような系または要素の監視または試験装置
23制御系またはその一部の試験または監視
02電気式試験または監視
H01L 21/205 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
20基板上への半導体材料の析出,例.エピタキシャル成長
205固体を析出させるガス状化合物の還元または分解を用いるもの,すなわち化学的析出を用いるもの
H01L 21/3065 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
04少なくとも一つの電位障壁または表面障壁,例.PN接合,空乏層,キャリア集中層,を有する装置
18不純物,例.ドーピング材料,を含むまたは含まない周期表第IV族の元素またはA↓I↓I↓IB↓V化合物から成る半導体本体を有する装置
30H01L21/20~H01L21/26に分類されない方法または装置を用いる半導体本体の処理
302表面の物理的性質または形状を変換するため,例.エッチング,ポリシング,切断
306化学的または電気的処理,例.電解エッチング
3065プラズマエッチング;反応性イオンエッチング
H01L 21/66 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
66製造または処理中の試験または測定
CPC
G05B 19/41875
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
19Programme-control systems
02electric
418Total factory control, i.e. centrally controlling a plurality of machines, e.g. direct or distributed numerical control [DNC], flexible manufacturing systems [FMS], integrated manufacturing systems [IMS], computer integrated manufacturing [CIM]
41875characterised by quality surveillance of production
G05B 2219/31331
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
31From computer integrated manufacturing till monitoring
31331Select manufacturing information by entering product number
G05B 2219/31432
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
31From computer integrated manufacturing till monitoring
31432Keep track of conveyed workpiece, batch, tool, conditions of stations, cells
G05B 2219/32179
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
32Operator till task planning
32179Quality control, monitor production tool with multiple sensors
G05B 2219/45031
GPHYSICS
05CONTROLLING; REGULATING
BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
2219Program-control systems
30Nc systems
45Nc applications
45031Manufacturing semiconductor wafers
G06Q 10/06
GPHYSICS
06COMPUTING; CALCULATING; COUNTING
QDATA PROCESSING SYSTEMS OR METHODS, SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL, SUPERVISORY OR FORECASTING PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL, SUPERVISORY OR FORECASTING PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
10Administration; Management
06Resources, workflows, human or project management, e.g. organising, planning, scheduling or allocating time, human or machine resources; Enterprise planning; Organisational models
出願人
  • 東京エレクトロン株式会社 TOKYO ELECTRON LIMITED [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 猪川 匠 INOKAWA, Takumi [JP]/[JP] (UsOnly)
  • 小山 典昭 KOYAMA, Noriaki [JP]/[JP] (UsOnly)
発明者
  • 猪川 匠 INOKAWA, Takumi
  • 小山 典昭 KOYAMA, Noriaki
代理人
  • 谷川 英和 TANIGAWA, Hidekazu
優先権情報
2006-12972909.05.2006JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) SERVER DEVICE, AND PROGRAM
(FR) DISPOSITIF SERVEUR ET PROGRAMME
(JA) サーバ装置、およびプログラム
要約
(EN)
[PROBLEMS TO BE SOLVED] Conventionally, filtering of information measured in the number of product wafers cannot compose a chart. [MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS] Measured data in a plurality of manufacturing devices are time sequential information. The measured data have the number of product wafers and time information. A server device is comprised of an instruction reception unit for storing a plurality of the measured data, and for receiving an output of a chart instruction including the number of the product wafers; an abnormality detecting unit for reading out a plurality of measured data in conformity with conditions of the number of product wafers in clued in the output instruction and for judging whether a plurality of the read out measured data are in conformity with condition information when the instruction reception unit receives the output instruction; an output information composing unit for composing output information in accordance with a judging result of the abnormality detecting unit; and output unit for outputting the output composed by the output composing unit, so that filtering of the information measured in the number of product wafers can compose a chart.
(FR)
De manière classique, le filtrage d'informations mesurées dans le nombre de plaquettes ne peut composer un graphique. Des données mesurées dans une pluralité de dispositifs de fabrication sont des informations séquentielles temporelles. Les données mesurées comprennent le nombre de plaquettes et des informations temporelles. Un dispositif serveur comprend une unité de réception d'instruction destinée à stocker une pluralité de données mesurées et permet de recevoir une sortie d'instruction graphique comprenant le nombre de plaquettes, une unité de détection d'anomalie destinée à lire une pluralité de données mesurée conformes aux conditions du nombre de plaquettes incluses dans l'instruction de sortie et destinées à évaluer si une pluralité des données mesurées lues sont conformes aux informations de condition lorsque l'unité de réception d'instruction reçoit l'instruction de sortie, une unité de composition d'information de sortie destinée à composer une information de sortie conformément à un résultat d'évaluation de l'unité de détection d'anomalie, et une unité de sortie destinée à produire en sortie la sortie composée par l'unité de composition de sortie, de façon que le filtrage des informations mesurées dans le nombre de plaquettes puisse composer un graphique.
(JA)
【課題】従来、製品ウェーハ枚数で測定された情報をフィルタリングして、チャートを構成することができなかった。 【解決手段】複数の製造装置で測定された情報についての時系列の情報であり、製品ウェーハ枚数と時刻情報を有する情報である測定情報を、複数格納しており、製品ウェーハ枚数を含むチャートの出力指示を受け付ける指示受付部と、指示受付部が出力指示を受け付けた場合、当該出力指示が含む製品ウェーハ枚数条件に合致する複数の測定情報を読み出し、当該読み出した複数の測定情報が、条件情報に合致するか否かを判断する異常検知部と、異常検知部の判断結果に応じた出力情報を構成する出力情報構成部と、前記出力情報構成部が構成した出力情報を出力する出力部を具備するサーバ装置により、製品ウェーハ枚数で測定された情報をフィルタリングして、チャートを構成することができる。
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