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1. WO2007126027 - カラーフィルタ検査方法およびカラーフィルタ製造方法並びにカラーフィルタ検査装置

公開番号 WO/2007/126027
公開日 08.11.2007
国際出願番号 PCT/JP2007/059120
国際出願日 26.04.2007
IPC
G01N 21/956 2006.01
G物理学
01測定;試験
N材料の化学的または物理的性質の決定による材料の調査または分析
21光学的手段,すなわち,赤外線,可視光線または紫外線を使用することによる材料の調査または分析
84特殊な応用に特に適合したシステム
88きず,欠陥,または汚れの存在の調査
95調査対象物の材質や形に特徴付けられるもの
956物体表面のパターンの検査
G01M 11/00 2006.01
G物理学
01測定;試験
M機械または構造物の静的または動的つり合い試験;他に分類されない構造物または装置の試験
11光学装置の試験;他に分類されない光学的方法による構造物の試験
G02B 5/20 2006.01
G物理学
02光学
B光学要素,光学系,または光学装置
5レンズ以外の光学要素
20フィルター
G02F 1/13 2006.01
G物理学
02光学
F光の強度,色,位相,偏光または方向の制御,例.スイッチング,ゲーテイング,変調または復調のための装置または配置の媒体の光学的性質の変化により,光学的作用が変化する装置または配置;そのための技法または手順;周波数変換;非線形光学;光学的論理素子;光学的アナログ/デジタル変換器
1独立の光源から到達する光の強度,色,位相,偏光または方向の制御のための装置または配置,例.スィッチング,ゲーテイングまたは変調;非線形光学
01強度,位相,偏光または色の制御のためのもの
13液晶に基づいたもの,例.単一の液晶表示セル
CPC
G01M 11/00
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
MTESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
11Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
G01N 2021/8887
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
8851Scan or image signal processing specially adapted therefor, e.g. for scan signal adjustment, for detecting different kinds of defects, for compensating for structures, markings, edges
8887based on image processing techniques
G01N 2021/9513
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
9513Liquid crystal panels
G01N 21/8806
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
8806Specially adapted optical and illumination features
G01N 21/95
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
21Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using infra-red, visible or ultra-violet light
84Systems specially adapted for particular applications
88Investigating the presence of flaws or contamination
95characterised by the material or shape of the object to be examined
G02B 5/201
GPHYSICS
02OPTICS
BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS
5Optical elements other than lenses
20Filters
201in the form of arrays
出願人
  • シャープ株式会社 SHARP KABUSHIKI KAISHA [JP]/[JP] (AllExceptUS)
  • 伊藤 健二 ITOH, Kenji (UsOnly)
発明者
  • 伊藤 健二 ITOH, Kenji
代理人
  • 特許業務法人原謙三国際特許事務所 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
優先権情報
2006-12250526.04.2006JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) COLOR FILTER INSPECTING METHOD, COLOR FILTER MANUFACTURING METHOD, AND COLOR FILTER INSPECTING DEVICE
(FR) PROCEDE DE CONTROLE DE FILTRE COLORE, PROCEDE DE FABRICATION DE FILTRE COLORE ET DISPOSITIF DE CONTROLE DE FILTRE COLORE
(JA) カラーフィルタ検査方法およびカラーフィルタ製造方法並びにカラーフィルタ検査装置
要約
(EN)
Provided is a color filter inspecting device comprising an illumination (2) for irradiating a color filter end portion (23) with a light at a predetermined angle of incidence, a sensor (3) for taking the reflected light, which has been reflected at a predetermined angle different from the incidence angle, to acquire at least two images, an image processing unit (9) for calculating the luminance difference in a color filter on the basis of the taken images, and a defect deciding unit (13) for deciding the presence or absence of the irregularity of the color filter from the luminance difference. Further provided is a color filter inspecting method for discovering the irregularity caused at a drying step, at an early stage, by irradiating the color filter end portion including the boundary between picture elements and black matrixes with the light, by taking the reflected light other than the regular reflected light, and by observing the entire color filter macroscopically. Further provided is a method for manufacturing the color filter using that inspecting method.
(FR)
La présente invention concerne un dispositif de contrôle de filtre coloré comprenant un éclairage (2) qui expose une partie d'extrémité d'un filtre coloré (23) à une lumière dont l'angle d'incidence est prédéterminé, un capteur (3) qui reçoit la lumière réfléchie, cette dernière étant réfléchie selon un angle prédéterminé différent de celui d'incidence, pour acquérir au moins deux images, une unité de traitement d'image (9) permettant de calculer la différence de luminance dans un filtre coloré sur la base des images obtenues, et une unité de détection d'imperfection (13) qui décèle la présence ou l'absence d'une irrégularité du filtre coloré selon la différence de luminance. La présente invention concerne également un procédé de contrôle de filtre coloré permettant de déceler toute irrégularité apparue lors d'une étape de séchage, à un stade précoce, par exposition à des rayons lumineux d'une partie d'extrémité d'un filtre coloré comprenant la limite entre des éléments d'image et des matrices noires, par captage d'une lumière réfléchie autre que la normale et par observation macroscopique de l'ensemble du filtre. Enfin, la présente invention concerne un procédé de fabrication du filtre coloré intégrant le procédé de contrôle décrit.
(JA)
 カラーフィルタ端部(23)に対し所定の入射角度で光を照射する照明(2)と、上記入射角度と異なる反射角度であって、所定の角度で反射角度で反射された反射光を撮像して少なくとも2つの撮像画像を取得するセンサ(3)と、上記撮像画像に基づいて、カラーフィルタ内の輝度差を算出する画像処理部(9)と、上記輝度差からカラーフィルタのムラの有無を判断する欠陥判定部(13)と、を備える。これにより、絵素とブラックマトリクスとの境界を含むカラーフィルタ端部に光を照射し、正反射光ではない反射光を撮像してカラーフィルタ全体をマクロ的に観察することによって、乾燥工程で生じるムラを早期に発見するカラーフィルタの検査方法、カラーフィルタ検査装置、当該方法を用いたカラーフィルタの製造方法を提供する。
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