国際・国内特許データベース検索

1. (WO2007119840) 回折光学素子、および該素子を備えた露光装置

Pub. No.:    WO/2007/119840    International Application No.:    PCT/JP2007/058227
Publication Date: Fri Oct 26 01:59:59 CEST 2007 International Filing Date: Wed Apr 11 01:59:59 CEST 2007
IPC: H01L 21/027
G02B 5/18
G02B 5/32
G03F 7/20
Applicants: DAI NIPPON PRINTING CO., LTD.
大日本印刷株式会社
TOYAMA, Nobuhito
登山 伸人
HORIGUCHI, Ryuji
堀口 竜二
Inventors: TOYAMA, Nobuhito
登山 伸人
HORIGUCHI, Ryuji
堀口 竜二
Title: 回折光学素子、および該素子を備えた露光装置
Abstract:
本発明は、半導体用露光装置等の照明光学系で用いられる瞳フィルタを透過する照明光の光量の減少を防ぎ、半導体露光の効率を高め、光近接効果による補正を施す際の負荷を低減し、マスクパターンピッチによりウェーハ上に結像するパターン寸法が変動することがなく、安定した高解像の光学像が得られる瞳フィルタを提供するもので、光源より発した光を照明光学系を介してマスクに照射し、マスク上のパターンを投影光学系を介して被露光基板上へ投影露光する露光装置の照明光学系で用いられる瞳フィルタ形成用の回折光学素子であって、回折光学素子により形成される瞳フィルタが2つの光透過部(11)を備えた二重極瞳であり、2つの光透過部(11)は前記瞳フィルタの中心から所定の距離に対称の扇状形状をなし、2つの光透過部(11)の間が光低透過率領域(12)からなり、2つの光透過部(11)および光低透過率領域(12)の外側が遮光部(13)であることを特徴とする。