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1. (WO2007119613) 搬送装置、搬送方法、およびデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2007/119613 国際出願番号: PCT/JP2007/057106
国際公開日: 25.10.2007 国際出願日: 30.03.2007
IPC:
B25J 15/08 (2006.01) ,B65G 49/07 (2006.01) ,H01L 21/677 (2006.01)
出願人: HORIUCHI, Takashi[JP/JP]; JP (UsOnly)
NIKON CORPORATION[JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo1008331, JP (AllExceptUS)
発明者: HORIUCHI, Takashi; JP
代理人: SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu, Chuo-ku, Tokyo1048453, JP
優先権情報:
2006-10852411.04.2006JP
発明の名称: (EN) CONVEYANCE APPARATUS, CONVEYANCE METHOD, AND DEVICE PRODUCTION METHOD
(FR) APPAREIL DE TRANSPORT, PROCÉDÉ DE TRANSPORT, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 搬送装置、搬送方法、およびデバイス製造方法
要約: front page image
(EN) A conveyance apparatus capable of conveying a body while reliably holding it, and a conveyance method. The conveyance apparatus for conveying an object (W) while holding it has a conveyance body (30). The conveyance body (30) has holding members (32, 33) coming into contact with the object (W). The angle of the holding members (32, 33) is changeable relative to the object (W).
(FR) Appareil de transport pouvant transporter un corps tout en le maintenant de manière fiable, et procédé de transport. L'appareil de transport destiné à transporter un objet (W) tout en le maintenant présente un corps de transport (30). Le corps de transport (30) présente des éléments de maintien (32, 33) entrant en contact avec l'objet (W). L'angle des éléments de maintien (32, 33) peut être modifié en fonction de l'objet (W).
(JA)  被保持体をより確実に保持した状態で搬送することができる搬送装置、および搬送方法を提供すること。物体(W)を保持して前記物体(W)を搬送する搬送装置は、搬送体(30)を備える。搬送体(30)は、前記物体(W)に当接される保持部材(32,33)を有し、前記保持部材(32,33)の角度が前記物体(W)に対して変更自在である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)