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1. (WO2007119475) ディスク原盤露光装置及びその調整方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2007/119475 国際出願番号: PCT/JP2007/055847
国際公開日: 25.10.2007 国際出願日: 22.03.2007
予備審査請求日: 24.01.2008
IPC:
G11B 7/26 (2006.01) ,G03F 9/00 (2006.01) ,G11B 7/0045 (2006.01) ,H01J 37/305 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01)
出願人: KATSUMURA, Masahiro[JP/JP]; JP (UsOnly)
Pioneer Corporation[JP/JP]; 4-1, Meguro 1-chome, Meguro-ku Tokyo 1538654, JP (AllExceptUS)
発明者: KATSUMURA, Masahiro; JP
代理人: FUJIMURA, Motohiko; FUJIMURA PATENT BUREAU Togeki-Bldg., 1-1 Tsukiji 4-chome Chuo-ku, Tokyo 1040045, JP
優先権情報:
2006-08292524.03.2006JP
発明の名称: (EN) DISC MASTER EXPOSURE DEVICE AND METHOD FOR ADJUSTING SAME
(FR) DISPOSITIF D'EXPOSITION DE DISQUE MATRICE ET PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE CELUI-CI
(JA) ディスク原盤露光装置及びその調整方法
要約: front page image
(EN) A disc master exposure device comprises a turntable for turning a disc master, a moving means for moving the turntable horizontally in at least one direction, a beam irradiating means for irradiating an electron beam toward the turntable to form a beam spot on the turntable or the disc master, a beam deflecting means for deflecting the beam, and a control means for controlling the moving means, the beam irradiating means and the beam deflecting means. The control means comprises an initializing means performing initial operation for matching the origin of the beam spot to the center of rotation of the turntable by driving at least one of the moving means and the beam deflecting means at the time of start. Consequently, a device and a method for adjusting a gap between the origin of recording beam irradiating position and the center of rotation of the turntable easily are provided.
(FR) La présente invention concerne un dispositif d'exposition de disque matrice comprenant une platine destinée à faire tourner un disque matrice, un moyen de déplacement destiné à déplacer la platine horizontalement dans au moins une direction, un moyen d'irradiation par faisceau destiné à irradier un faisceau d'électrons en direction de la platine afin de former un point de faisceau sur la platine ou le disque matrice, un moyen de déviation de faisceau destiné à dévier le faisceau, et un moyen de contrôle destiné à contrôler le moyen de déplacement, le moyen d'irradiation par faisceau et le moyen de déviation de faisceau. Le moyen de contrôle comprend un moyen d'initialisation effectuant l'opération initiale pour faire correspondre l'origine du point de faisceau avec le centre de rotation de la platine en entraînant, au moment du démarrage, au moins l'un des éléments suivants: moyen de déplacement, et moyen de déviation du faisceau. En conséquence, un dispositif et un procédé permettant de régler un intervalle entre l'origine de la position d'irradiation du faisceau d'enregistrement et le centre de rotation de la platine sont ainsi facilement établis.
(JA)  ディスク原盤を回転せしめるターンテーブルと、ターンテーブルを少なくとも一方向に水平移動せしめる移動手段と、ターンテーブルに向けて電子ビームを照射してターンテーブル若しくはディスク原盤上にビームスポットを形成するビーム照射手段と、ビームを偏向せしめるビーム偏向手段と、移動手段、ビーム照射手段及びビーム偏向手段を制御する制御手段と、を有するディスク原盤露光装置であって、制御手段は、起動時において移動手段及びビーム偏向手段の少なくとも一方を駆動してビームスポットの原点をターンテーブルの回転中心に一致させるための初期動作をなす初期化手段を含んでいる。これにより、記録用ビームの照射位置の原点とターンテーブルの回転中心とのずれを簡易に調整する装置及び方法が提供される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)