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1. (WO2007119384) ネガ型感光性含フッ素芳香族系樹脂組成物
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2007/119384 国際出願番号: PCT/JP2007/055288
国際公開日: 25.10.2007 国際出願日: 15.03.2007
IPC:
G03F 7/027 (2006.01) ,G03F 7/004 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01)
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004
感光材料
027
炭素-炭素二重結合を有する非高分子光重合性化合物,例.エチレン化合物
G 物理学
03
写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
F
フォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7
フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
004
感光材料
04
クロム酸塩
H 電気
01
基本的電気素子
L
半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21
半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02
半導体装置またはその部品の製造または処理
027
その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループ21/18または21/34に分類されないもの
出願人:
江里口 武 ERIGUCHI, Takeshi [JP/JP]; JP (UsOnly)
山本 弘賢 YAMAMOTO, Hiromasa [JP/JP]; JP (UsOnly)
鶴岡 薫 TSURUOKA, Kaori [JP/JP]; JP (UsOnly)
旭硝子株式会社 ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED [JP/JP]; 〒1008405 東京都千代田区有楽町一丁目12番1号 Tokyo 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008405, JP (AllExceptUS)
発明者:
江里口 武 ERIGUCHI, Takeshi; JP
山本 弘賢 YAMAMOTO, Hiromasa; JP
鶴岡 薫 TSURUOKA, Kaori; JP
代理人:
泉名 謙治 SENMYO, Kenji; 〒1010035 東京都千代田区神田紺屋町17番地 SIA神田スクエア4階 Tokyo 4th Floor, SIA Kanda Square 17, Kanda-konyacho, Chiyoda-ku Tokyo 1010035, JP
優先権情報:
2006-07241216.03.2006JP
2006-29139626.10.2006JP
発明の名称: (EN) NEGATIVE-TYPE PHOTOSENSITIVE FLUORINATED AROMATIC RESIN COMPOSITION
(FR) COMPOSITION DE RÉSINE AROMATIQUE FLUORÉE PHOTOSENSIBLE DE TYPE NÉGATIF
(JA) ネガ型感光性含フッ素芳香族系樹脂組成物
要約:
(EN) Disclosed is a negative-type photosensitive fluorinated aromatic resin composition having a low relative permittivity, a low water absorption coefficient, high thermal resistance and high productivity. The composition comprises a fluorinated aromatic prepolymer, a photosensitizing agent and a solvent. The fluorinated aromatic prepolymer can be produced by condensing one or both of a compound (Y-1) having a crosslinkable functional group (A) and a phenolic hydroxyl group and a compound (Y-2) having a crosslinkable functional group (A) and an aromatic ring substituted by a fluorine atom, a fluorinated aromatic compound (B) represented by the formula (1) and a compound (C) having three or more phenolic hydroxyl groups in the presence of a HF-removing agent. (1) wherein n represents an integer of 0 to 3; a and b independently represent an integer of 0 to 3; Rf1 and Rf2 independently represent a fluorinated alkyl group having up to 8 carbon atoms; and F in an aromatic ring means that all of the hydrogen atoms in the aromatic ring are substituted by fluorine atoms. The fluorinated aromatic prepolymer has a crosslinkable functional group (A) and an ether bond, and has a number average molecular weight of 1&KHgr;103 to 5&KHgr;105.
(FR) Cette invention concerne une composition de résine aromatique fluorée photosensible de type négatif ayant une permittivité relative faible, un faible coefficient d'absorption d'eau, une forte résistance thermique et une forte productivité. Cette composition comprend un prépolymère aromatique fluoré, un agent photosensible et un solvant. Le prépolymère aromatique fluoré peut être fabriqué en condensant soit un composé (Y-1) possédant un groupe fonctionnel réticulable (A) et un groupe hydroxyle phénolique soit un composé (Y-2) possédant un groupe fonctionnel réticulable (A) et un noyau aromatique remplacé par un atome de fluorine soit les deux, un composé aromatique fluoré (B) représenté par la formule (1) et un composé (C) contenant au moins trois groupes hydroxyle phénoliques en présence d'un agent d'élimination d'HF. Dans cette formule (1), n représente un nombre entier positif compris entre 0 et 3; a et b représentent indépendamment un nombre entier positif compris entre 0 et 3; Rf1 et Rf2 représentent indépendamment un groupe alkyle fluoré qui peut compter jusqu'à 8 atomes de carbone; et F dans un noyau aromatique signifie que tous les atomes d'hydrogène du noyau aromatique sont remplacés par des atomes de fluorine. Le prépolymère aromatique fluoré possède un groupe fonctionnel réticulable (A) et une liaison éther, et une masse moléculaire moyenne en nombre comprise entre 1&KHgr;103 et 5&KHgr;105.
(JA) not available
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指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)