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1. (WO2007116523) 硬質被膜の脱膜方法

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/116523    国際出願番号:    PCT/JP2006/307589
国際公開日: 18.10.2007 国際出願日: 10.04.2006
予備審査請求日:    01.10.2007    
C23C 14/06 (2006.01), C23C 14/02 (2006.01), B23P 15/28 (2006.01), B23K 15/00 (2006.01), B23K 101/20 (2006.01)
出願人: OSG CORPORATION [JP/JP]; 22, Honnogahara 3-chome, Toyokawa-shi Aichi 4420005 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HANYU, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
FUKUI, Yasuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HANYU, Hiroyuki; (JP).
FUKUI, Yasuo; (JP)
代理人: IKEDA, Haruyuki; Ikeda Patent Office Nagoya-Dia. Bldg. No.2, 15-1, Meieki 3-chome, Nakamura-ku, Nagoya-shi Aichi 4500002 (JP)
(JA) 硬質被膜の脱膜方法
要約: front page image
(EN)A hard coating film (30) is efficiently etched with a beam of krypton ions, which have a relatively large mass, in a step (S2) and then slowly etched with a beam of argon ions, which have a small mass, in a step (S3) as shown in Fig. 3. Thus, film removal can be carried out in a short time while minimizing influences (shape change and dimensional change) on the tool base (20). Since krypton and argon each is an inert gas, chemical corrosion of the tool base (20) and resultant surface embrittlement are nil even when the surface of the tool base (20) is exposed. When this tool base (20) is recoated with a hard coating film (30) to produce a regenerated hard-film-coated processing tool (12), the hard coating film (30) is adherent thereto at an excellent adhesion strength.
(FR)La présente invention concerne un film de revêtement dur (30) qui est gravé de manière efficace avec un faisceau d'ions de krypton, qui ont une masse relativement grande, au cours d'une étape (S2) et ensuite lentement gravé avec un faisceau d'ions d'argon, qui ont une petite masse, au cours d'une étape (S3) ainsi illustré sur la figure 3. Ainsi, l'élimination du film peut être effectuée sur une courte durée tout en réduisant au minimum les influences (le changement de forme et le changement de dimension) sur la base d'outil (20). Etant donné que le krypton et l'argon sont chacun un gaz inerte, la corrosion chimique de la base d'outil (20) et la fragilisation de la surface résultante est nulle même lorsque la surface de la base d'outil (20) est exposée. Lorsque cette base d'outil (20) est de nouveau revêtue d'un film de revêtement dur (30) afin de produire un outil de traitement revêtu d'un film dur régénéré (12), le film de revêtement dur (30) adhère à celui-ci avec une excellente force d'adhérence.
(JA) 図3に示すように、ステップS2で比較的大きな質量のクリプトンイオンビームにより硬質被膜30を能率良くエッチングした後、ステップS3で質量の小さなアルゴンイオンビームにより硬質被膜30をゆっくりとエッチングすることにより、工具基材20への影響(形状変化や寸法変化)を最小限に抑制しつつ短時間で脱膜処理を行うことができる。クリプトンおよびアルゴンは何れも不活性ガスであるため、工具基材20の表面が露出した場合でも、その工具基材20に対する化学的浸食による表面の脆弱化は皆無であり、その工具基材20に硬質被膜30を再コーティングして硬質被膜被覆加工工具12を再生しても、硬質被膜30が優れた密着強度でコーティングされる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)