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1. (WO2007114332) 処理データ管理システム、処理システム、および、処理装置のデータ管理方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/114332    国際出願番号:    PCT/JP2007/057087
国際公開日: 11.10.2007 国際出願日: 30.03.2007
IPC:
G05B 19/418 (2006.01), C23C 14/00 (2006.01), C23C 14/22 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01), C23C 14/54 (2006.01), G11B 5/851 (2006.01)
出願人: HOYA CORPORATION [JP/JP]; 7-5, Naka-Ochiai 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1618525 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HOYA MAGNETICS SINGAPORE PTE. LTD. [SG/SG]; #3, Tuas Link 2, Singapore 638552 (SG) (米国を除く全ての指定国).
KOBAYASHI, Takumi [JP/SG]; (SG) (米国のみ)
発明者: KOBAYASHI, Takumi; (SG)
代理人: IKEDA, Noriyasu; The Third Mori Building 4-10, Nishishinbashi 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
優先権情報:
2006-101212 31.03.2006 JP
発明の名称: (EN) PROCESSING DATA MANAGING SYSTEM, PROCESSING SYSTEM, AND PROCESSING DEVICE DATA MANAGING METHOD
(FR) SYSTEME DE GESTION DE DONNEES DE TRAITEMENT, SYSTEME DE TRAITEMENT ET PROCEDE DE GESTION DE DONNEES DU DISPOSITIF DE TRAITEMENT
(JA) 処理データ管理システム、処理システム、および、処理装置のデータ管理方法
要約: front page image
(EN)A processing data managing system includes: a processing device (11)(such as a sputtering device for manufacturing a magnetic disc) for repeating the same process for each cycle; a sampling unit (30) for collecting raw data on a processing condition in the processing device (such as a discharge condition); a calculation unit (100) for receiving the raw data, calculating the raw data according to a predetermined rule, and processing it as summary data expressing a characteristic point for each cycle (characteristic value: for example, average value, maximum value, minimum value, standard deviation, discharge time, and the like); a data storage unit (40) for storing the processed summary data in storage means; and a display/output unit (50) for chart-displaying the summary data stored in the storage means.
(FR)La présente invention concerne un système de gestion de données de traitement qui comprend: un dispositif de traitement (11) (tel qu'un dispositif de pulvérisation servant à fabriquer un disque magnétique) permettant de répéter le même processus pour chaque cycle ; une unité d'échantillonnage (30) servant à recueillir les données brutes sur une condition de traitement dans le dispositif de traitement (telle qu'une condition de décharge) ; une unité de calcul (100) servant à recevoir les données brutes, calculer les données brutes selon une règle prédéfinie, et les traiter comme des données récapitulatives exprimant un point caractéristique pour chaque cycle (valeur de caractéristique : par exemple, la valeur moyenne, valeur maximum, valeur minimum, déviation standard, temps de décharge et semblable) ; une unité de stockage de données (40) destinée à stocker les données récapitulatives traitées dans des moyens de stockage ; et une unité de sortie/affichage (50) permettant d'afficher sous forme de tableau les données récapitulatives stockées dans les moyens de stockage.
(JA)同一の工程処理をサイクル毎に繰り返し行う処理装置(磁気ディスク製造用のスパッタリング装置など)11と、処理装置における処理条件の生データ(放電条件など)を収集するサンプリングユニット30と、前記生データを受け取り、生データを一定のルールに基づいて演算してサイクル毎の特徴点を表現する要約データ(特性値:例えば平均値、最大値、最小値、標準偏差、放電時間など)として加工する演算部100と、その加工した要約データを記憶手段に保存するデータ保存ユニット40と、記憶手段に保存された要約データをチャート表示する表示・出力ユニット50とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)