国際・国内特許データベース検索

1. (WO2007114254) 有機薄膜トランジスタ及びその製造方法

Pub. No.:    WO/2007/114254    International Application No.:    PCT/JP2007/056870
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2007 International Filing Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2007
IPC: H01L 29/786
H01L 21/283
H01L 21/312
H01L 21/336
H01L 51/05
H01L 51/30
Applicants: Pioneer Corporation
パイオニア株式会社
CHUMAN, Takashi
中馬 隆
OHTA, Satoru
大田 悟
Inventors: CHUMAN, Takashi
中馬 隆
OHTA, Satoru
大田 悟
Title: 有機薄膜トランジスタ及びその製造方法
Abstract:
 有機薄膜トランジスタは、有機薄膜トランジスタは、互いに分離して設けられたソース電極及びドレイン電極と、ソース電極及びドレイン電極の間に介在する有機半導体層と、ソース電極及びドレイン電極の間の有機半導体層に対向してゲート絶縁膜を介して配置されたゲート電極と、を有する有機薄膜トランジスタであって、有機半導体層とゲート電極との間におけるゲート絶縁膜の膜厚を規定する高さを有するスペーサを有する。ゲート絶縁膜はインプリンティング法により成膜される。