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1. (WO2007114014) 感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

Pub. No.:    WO/2007/114014    International Application No.:    PCT/JP2007/055124
Publication Date: Fri Oct 12 01:59:59 CEST 2007 International Filing Date: Thu Mar 15 00:59:59 CET 2007
IPC: G03F 7/004
C08F 2/44
G03F 7/027
H05K 3/00
Applicants: HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD.
日立化成工業株式会社
WATANABE, Mitsuaki
渡辺 満明
Inventors: WATANABE, Mitsuaki
渡辺 満明
Title: 感光性樹脂組成物、並びにこれを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法
Abstract:
本発明の感光性樹脂組成物は、(A)バインダーポリマー、(B)分子内に少なくとも1つ以上の重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物、(C)光重合開始剤、及び(D)下記一般式(1)で表される化合物を含有することを特徴とする。 【化1】 式(1)中、R1、R2、R3、R4は、各々独立に水素原子、又は下記一般式(2) である。 【化2】 式(2)中、R5は炭素数4~30の炭化水素基を示す。