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1. (WO2007111307) インナードラム露光装置

Pub. No.:    WO/2007/111307    International Application No.:    PCT/JP2007/056230
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2007 International Filing Date: Tue Mar 27 01:59:59 CEST 2007
IPC: G02B 26/10
B41J 2/44
G03F 7/20
H04N 1/036
H04N 1/113
Applicants: FUJIFILM Corporation
富士フイルム株式会社
MIYAGAWA, Ichirou
宮川 一郎
Inventors: MIYAGAWA, Ichirou
宮川 一郎
Title: インナードラム露光装置
Abstract:
 このインナードラム露光装置は、S偏光方向とP偏光方向とが互いに異なる1対の反射ミラーを少なくとも1組備える、主走査手段に所定の光路で光ビームを入射する光学系を有する、または、結晶光軸方向を光学系におけるSまたはP偏光方向と一致させ、かつ一方の結晶光軸方向またはこの直交方向を軸に、光軸に対して傾斜して配置される1/4波長板で、光学系におけるP偏光方向に対して45°の角度の直線偏光の光ビームを楕円偏光の光ビームに変換する、もしくは、光ビームの光路を変更して所定の光路で主走査手段に入射させる反射ミラーによる反射によって円偏光から楕円偏光に変換された光ビームの長軸方向の光量を減衰する光学素子を少なくとも1つ含む光学系を有する。