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1. (WO2007111058) プラズマ処理装置用部材およびその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/111058    国際出願番号:    PCT/JP2007/053002
国際公開日: 04.10.2007 国際出願日: 20.02.2007
IPC:
C23C 28/04 (2006.01), C04B 41/87 (2006.01), C23C 4/10 (2006.01), C23C 18/12 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
出願人: TOHOKU UNIVERSITY [JP/JP]; 1-1, Katahira 2-chome, Aoba-ku, Sendai-shi, Miyagi 9808577 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NIHON CERATEC CO., LTD. [JP/JP]; 5, Ake-Dori 3-chome, Izumi-ku, Sendai-shi, Miyagi 9813206 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OHMI, Tadahiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KITANO, Masafumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TSUTAI, Yoshihumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SATOU, Keisuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
IGUCHI, Mabito [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OHMI, Tadahiro; (JP).
KITANO, Masafumi; (JP).
TSUTAI, Yoshihumi; (JP).
SATOU, Keisuke; (JP).
IGUCHI, Mabito; (JP)
代理人: IKEDA, Noriyasu; The Third Mori Building 4-10, Nishishinbashi 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050003 (JP)
優先権情報:
2006-084543 27.03.2006 JP
発明の名称: (EN) STRUCTURAL MEMBER FOR PLASMA TREATMENT SYSTEM AND METHOD FOR MANUFACTURE THEREOF
(FR) Élément structural pour un système de traitement par plasma et son procédé de fabrication
(JA) プラズマ処理装置用部材およびその製造方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a structural member for a plasma treatment system, which is excellent in film-forming properties, durability and reliability. The structural member comprises a substrate and a ceramic film provided on the substrate, wherein the ceramic film has a purity of 98% or higher. In the ceramic film, a particle constituting the film has a particle diameter of 50 nm or smaller, and the amount of moisture released from the film is 1019 molecules/cm2 or less.
(FR)L'invention concerne un élément structural pour un système de traitement par plasma, qui possède des propriétés filmogènes, une durabilité et une fiabilité excellentes. L'élément structural comprend un substrat et un film céramique déposé sur le substrat, le film céramique présentant une pureté de 98 % ou plus. Les particules constituant le film céramique présentent un diamètre de particules de 50 nm ou moins, et la quantité d'humidité s'échappant du film est de 1019 molécules/cm2 ou moins.
(JA) 成膜性や耐久性、信頼性に優れたプラズマ処理装置用部材を提供する。  基材上に、純度98%以上であるセラミックス膜を有している。セラミックス膜は、膜を構成している粒子の粒子径が50nm以下であり、膜からの放出水分量が1019分子/cm以下である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)