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1. (WO2007111045) 温度処理装置及び温度処理システム
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

国際公開番号: WO/2007/111045 国際出願番号: PCT/JP2007/052200
国際公開日: 04.10.2007 国際出願日: 08.02.2007
IPC:
F27B 9/36 (2006.01) ,F27D 7/02 (2006.01) ,F27D 7/04 (2006.01) ,H01L 21/324 (2006.01)
出願人: MATSUYOSHI, Tetsunori[JP/JP]; JP (UsOnly)
KOMATA, Hiroaki[JP/JP]; JP (UsOnly)
MORIMOTO, Kouji[JP/JP]; JP (UsOnly)
HIRATA CORPORATION[JP/JP]; 9-20, Togoshi 3-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1420041, JP (AllExceptUS)
発明者: MATSUYOSHI, Tetsunori; JP
KOMATA, Hiroaki; JP
MORIMOTO, Kouji; JP
代理人: YAMAMOTO, Takatoshi; Nishishinbashi-Fukutoku Bldg. 11-5, Nishishinbashi 1-chome Minato-ku, Tokyo 1050003, JP
優先権情報:
2006-08453827.03.2006JP
発明の名称: (EN) TEMPERATURE TREATING UNIT AND TEMPERATURE TREATING SYSTEM
(FR) UNITE ET SYSTEME DE TRAITEMENT A TEMPERATURE CONTROLEE
(JA) 温度処理装置及び温度処理システム
要約: front page image
(EN) A temperature treating unit comprises a housing (210) for defining a treating chamber (211) performing temperature treating of a plurality of stacked articles to be treated, and a mechanism for circulating fluid in order to perform temperature treating on articles to be treated which are carried into the treating chamber (211). The housing (210) has ports (212, 213) for carrying in and carrying out the article to be treated in the horizontal direction and closed during temperature treating, and a conveyor (260) for carrying in and carrying out the article to be treated in the horizontal direction is arranged below the housing (210). The fluid circulation mechanism is arranged in the housing (210) and formed to jet fluid toward the the opposite sides or underside and the opposite sides of the article to be treated and circulating the fluid while sucking from above the article to be treated. Consequently, atmospheric temperature can be managed with high precision while space saving of installation area is achieved and productivity is enhanced by performing temperature treating stably.
(FR) L'invention concerne une unité de traitement a température contrôlée comportant une enceinte (210), servant à définir une chambre (211) de traitement réalisant un traitement à température contrôlée d'une pluralité d'articles empilés à traiter, et un mécanisme de circulation de fluide afin de réaliser un traitement à température contrôlée sur des articles à traiter introduits dans la chambre (211) de traitement. L'enceinte (210) est dotée d'orifices (212, 213) servant à introduire et à extraire l'article à traiter dans la direction horizontale et demeurant fermés pendant le traitement à température contrôlée, et un convoyeur (260) servant à introduire et à extraire l'article à traiter dans la direction horizontale est installé au-dessous de l'enceinte (210). Le mécanisme de circulation de fluide est installé dans l'enceinte (210) et formé de façon à projeter du fluide vers les côtés opposés, ou le dessous et les côtés opposés, de l'article à traiter et à faire circuler le fluide tout en l'aspirant à partir d'une position située au-dessus de l'article à traiter. Par conséquent, la température atmosphérique peut être maîtrisée avec une grande précision tout en minimisant l'encombrement de la zone de l'installation et en renforçant la productivité par la réalisation stable du traitement à température contrôlée.
(JA)  本発明の温度処理装置は、段積みされた複数の被処理物に温度処理を施す処理室(211)を画定するハウジング(210)、処理室(211)に搬入された被処理物に対して温度処理を施すための流体を循環させる流体循環機構を備え、ハウジング(210)は、被処理物を水平方向に搬入及び搬出すると共に温度処理中に閉塞される搬入口(212)及び搬出口(213)を有し、ハウジング(210)内の下方には、被処理物を担持して水平方向に搬入及び搬出するコンベア(260)が配置され、流体循環機構は、ハウジング(210)内に配置されて、被処理物の両側又は両側及び下側に向けて流体を噴出すると共に被処理物の上方から流体を吸引して循環させるように形成されている。これにより、設置面積の省スペース化を達成しつつ、雰囲気温度を高精度に管理でき、安定した温度処理が行えて生産性が向上する。  
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
国際公開言語: 日本語 (JA)
国際出願言語: 日本語 (JA)