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1. (WO2007110934) 熱式質量流量計

Pub. No.:    WO/2007/110934    International Application No.:    PCT/JP2006/306310
Publication Date: Fri Oct 05 01:59:59 CEST 2007 International Filing Date: Wed Mar 29 01:59:59 CEST 2006
IPC: G01F 1/692
Applicants: SHIMADZU CORPORATION
株式会社島津製作所
HASEBE, Shinya
長谷部 臣哉
Inventors: HASEBE, Shinya
長谷部 臣哉
Title: 熱式質量流量計
Abstract:
 配管2の周面の表面上に発熱素子であるヒータチップ4が固着されている。さらに配管2の周面の表面上に、配管2を流れる流体の流れ方向に沿って1対の温度センサチップ対6が配置されている。そのうち、一方の温度センサチップ6aはヒータチップ4の上流側に配置され、他方の温度センサチップ6bはヒータチップ4の下流側に配置されている。ヒータチップ4、温度センサチップ6a,6bとしてチップ型に形成されたものが用いられている。対をなす温度センサチップ6aと6bはそれぞれヒータチップ4から等しい距離に配置されている。