WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2007108462) エッチング方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/108462    国際出願番号:    PCT/JP2007/055623
国際公開日: 27.09.2007 国際出願日: 20.03.2007
IPC:
H01L 21/3065 (2006.01)
出願人: ULVAC, Inc. [JP/JP]; 2500, Hagisono, Chigasaki, Kanagawa 2538543 (JP) (米国を除く全ての指定国).
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology [JP/JP]; 3-1, Kasumigaseki 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008921 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KOKAZE, Yutaka [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMAMOTO, Tadashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SUU, Koukou [CN/JP]; (JP) (米国のみ).
AKINAGA, Hiroyuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TAKANO, Fumiyoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KOKAZE, Yutaka; (JP).
YAMAMOTO, Tadashi; (JP).
SUU, Koukou; (JP).
AKINAGA, Hiroyuki; (JP).
TAKANO, Fumiyoshi; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
優先権情報:
2006-077757 20.03.2006 JP
発明の名称: (EN) ETCHING METHOD
(FR) PROCÉDÉS DE DECAPAGE
(JA) エッチング方法
要約: front page image
(EN)Provided is an etching method wherein a mixed gas of hydrofluorocarbon gas, oxygen gas and nitrogen gas is introduced to generate plasma, and a material including a transition metal is etched.
(FR)L'invention concerne un procédé de décapage selon lequel un gaz mixte d'hydrofluorocarbone gazeux, d'oxygène gazeux et d'azote gazeux est introduit pour générer un plasma, et un matériau comprenant un métal de transition est décapé.
(JA) ハイドロフルオロカーボンガス、酸素ガスおよび窒素ガスの混合ガスを導入してプラズマを発生させ、遷移金属を含む材料をエッチングすることを特徴とするエッチング方法。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)