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1. WO2007108364 - 薄膜形成装置及び薄膜形成方法

みなし無効:  16.05.2008
公開番号 WO/2007/108364
公開日 27.09.2007
国際出願番号 PCT/JP2007/054930
国際出願日 13.03.2007
IPC
B05C 5/00 2006.01
B処理操作;運輸
05霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
C液体または他の流動性材料を表面に適用する装置一般
5液体または他の流動性材料が被加工物の表面上に射出,注出あるいは流下されるようにした装置
B05C 9/08 2006.01
B処理操作;運輸
05霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
C液体または他の流動性材料を表面に適用する装置一般
9グループB05C1/00~B05C7/00に包含されない手段によって表面に液体もしくは他の流動性材料を適用する装置または設備,または液体もしくは他の流動性材料を適用する手段が重要でないような装置もしくは設備
08液体または他の流動性材料を適用しかつ補助操作を行なうためのもの
B05C 13/02 2006.01
B処理操作;運輸
05霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
C液体または他の流動性材料を表面に適用する装置一般
13被加工物の操作手段または保持手段,例.個々の物品のためのもの
02特定の物品のためのもの
B05C 15/00 2006.01
B処理操作;運輸
05霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
C液体または他の流動性材料を表面に適用する装置一般
15装置の囲い;ブース
B05D 1/02 2006.01
B処理操作;運輸
05霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般
D液体または他の流動性材料を表面に適用する方法一般
1液体または他の流動性材料を適用する方法
02噴霧によって行なわれるもの
B41J 2/045 2006.01
B処理操作;運輸
41印刷;線画機;タイプライター;スタンプ
Jタイプライタ;選択的プリンティング機構,すなわち版以外の手段でプリンティングする機構;誤植の修正
2設計されるプリンティングまたはマーキング方法に特徴があるタイプライタまたは選択的プリンティング機構
005液体または粒子を選択的にプリンティング材料に接触させることに特徴があるもの
01インクジェット
015ジェット形成方法に特徴があるもの
04オン・デマンドで小滴または粒子を形成するもの
045圧力によるもの,例.電気機械変換器を用いるもの
CPC
B41J 3/28
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, ; e.g. INK-JET PRINTERS, THERMAL PRINTERS; , i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
3Typewriters or selective printing or marking mechanisms, ; e.g. ink-jet printers, thermal printers; characterised by the purpose for which they are constructed
28for printing downwardly on flat surfaces, e.g. of books, drawings, boxes ; , envelopes, e.g. flat-bed ink-jet printers
G02F 1/1337
GPHYSICS
02OPTICS
FDEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING, GATING, MODULATING OR DEMODULATING; TECHNIQUES OR PROCEDURES FOR THE OPERATION THEREOF; FREQUENCY-CHANGING; NON-LINEAR OPTICS; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
1Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating, or modulating; Non-linear optics
01for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
13based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
1333Constructional arrangements; ; Manufacturing methods
1337Surface-induced orientation of the liquid crystal molecules, e.g. by alignment layers
H01L 51/0005
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
51Solid state devices using organic materials as the active part, or using a combination of organic materials with other materials as the active part; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of such devices, or of parts thereof
0001Processes specially adapted for the manufacture or treatment of devices or of parts thereof
0002Deposition of organic semiconductor materials on a substrate
0003using liquid deposition, e.g. spin coating
0004using printing techniques, e.g. ink-jet printing, screen printing
0005ink-jet printing
出願人
  • ランテクニカルサービス株式会社 LAN TECHNICAL SERVICE CO., LTD. [JP/JP]; 〒1510053 東京都渋谷区代々木1丁目6番12号 Tokyo 6-12, Yoyogi 1-chome, Shibuya-ku, Tokyo1510053, JP (AllExceptUS)
  • 松本 好家 MATSUMOTO, Yoshiie [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者
  • 松本 好家 MATSUMOTO, Yoshiie; JP
代理人
  • 大垣 孝 OHGAKI, Takashi; 〒1700013 東京都豊島区東池袋1丁目35番3号 池袋センタービル4階 Tokyo 4F, Ikebukuro Center Building, 5-3, Higashi Ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo1700013, JP
優先権情報
2006-07331216.03.2006JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) THIN FILM FORMING DEVICE AND THIN FILM FORMING METHOD
(FR) DISPOSITIF DE FORMATION D'UN FILM MINCE ET PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN FILM MINCE
(JA) 薄膜形成装置及び薄膜形成方法
要約
(EN)
When a thin film is formed on a substrate using an inkjet method, variations in film thickness is prevented, a material use efficiency and a production tact are improved, and due attention is paid to environment. A thin film forming device is used which comprises a head support mechanism (5) mounting a plurality of nozzles (9) and provided with a single or a plurality of inkjet heads (2), and a substrate carrying mechanism (50) permitting relative movement in a plane direction. A substrate carrying table (8) and a portion carrying out spray coating on a substrate (1) are closed by a vacuum tank (14) as a spray coating/film forming chamber, and a film is formed by an inkjet method under a depressurized environment by a vacuum pump, thereby obtaining a thin film having small film thickness variations. As required, a pressure regulating preliminary chamber is provided to create a depressurized environment, and further a volatile organic solvent recovery device may be provided in an exhaust system. The device is especially suitable for forming an oriented film.
(FR)
Lorsqu'on forme un film mince sur un substrat en utilisant un procédé à jet d'encre, on évite des variations en termes d'épaisseur du film, on améliore le taux d'utilisation des matières et le rendement de production et on respecte l'environnement. On utilise un dispositif de formation d'un film mince lequel comprend un mécanisme support de têtes (5) comprenant une pluralité de buses (9) montées sur celui-ci et pourvu d'une seule ou d'une pluralité de têtes d'injection (2) et un mécanisme portant un substrat (50) permettant un mouvement relatif dans la direction d'un plan. Une table portant un substrat (8) et une partie effectuant une enduction par pulvérisation sur un substrat (1) sont enfermées dans une cuve sous vide (14) servant de chambre d'enduction par pulvérisation/de formation de film et on forme un film par un procédé à jet d'encre dans un environnement dépressurisé par une pompe à vide, ce par quoi on obtient un film mince ayant de faibles variations de l'épaisseur du film. Si besoin, on emploie une chambre préliminaire d'ajustement de la pression pour créer un environnement dépressurisé et en plus un dispositif de récupération de solvant organique volatil peut être installé dans un système d'évacuation. Le dispositif est particulièrement approprié pour former un film orienté.
(JA)
not available
他の公開
AU2007228190
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