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1. (WO2007108349) 真空処理装置の搬送位置合わせ方法、真空処理装置及びコンピュータ記憶媒体
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/108349    国際出願番号:    PCT/JP2007/054837
国際公開日: 27.09.2007 国際出願日: 12.03.2007
IPC:
H01L 21/68 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KONDOH, Keisuke [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KOIZUMI, Hiroshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KONDOH, Keisuke; (JP).
KOIZUMI, Hiroshi; (JP)
代理人: SUYAMA, Saichi; Kanda Higashiyama Bldg. 1, Kandata-cho 2-chome Chiyoda-ku Tokyo 1010046 (JP)
優先権情報:
2006-076190 20.03.2006 JP
発明の名称: (EN) TRANSFER/ALIGNMENT METHOD IN VACUUM PROCESSING APPARATUS, VACUUM PROCESSING APPARATUS AND COMPUTER STORAGE MEDIUM
(FR) PROCEDE DE TRANSFERT/D'ALIGNEMENT DANS UNE MACHINE DE TRAITEMENT SOUS VIDE, MACHINE DE TRAITEMENT SOUS VIDE ET SUPPORT DE STOCKAGE INFORMATIQUE
(JA) 真空処理装置の搬送位置合わせ方法、真空処理装置及びコンピュータ記憶媒体
要約: front page image
(EN)In a vacuum transfer chamber (10), a position detecting mechanism (33) for detecting the positions of semiconductor wafers (W) is arranged. The semiconductor wafers (W) arranged at prescribed positions in a load lock chamber (17) and vacuum processing chambers (11-16) are transferred to the position detecting mechanism (33) by a vacuum transfer mechanism (30) and the positions of the wafers are detected. Then, based on the detection results, aligning between the load lock chamber (17) and the vacuum processing chambers (11-16) is performed.
(FR)L'invention concerne une chambre de transfert sous vide (10) dans laquelle est installé un mécanisme de détection de position (33) permettant de détecter la position de plaquettes de semi-conducteurs (W). Les plaquettes de semi-conducteurs (W) placées à des positions prédéfinies dans une chambre de blocage (17) et dans des chambres de traitement sous vide (11-16)sont transférées sur le mécanisme de détection de position (33) par un mécanisme de transfert sous vide (30) et on détecte les positions des plaquettes. On procède ensuite à l'alignement entre la chambre de charge (17) et les chambres de traitement sous vide (11-16) en fonction des résultats de la détection des positions.
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)