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1. WO2007108320 - 電子ビーム及びレーザービームのプロファイル測定装置及び方法

公開番号 WO/2007/108320
公開日 27.09.2007
国際出願番号 PCT/JP2007/054410
国際出願日 07.03.2007
IPC
H05G 2/00 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
GX線技術
2X線の発生に特に適合した装置または処理で,X線管を含まないもの,例.プラズマの発生を含むもの
G01T 1/29 2006.01
G物理学
01測定;試験
T原子核放射線またはX線の測定
1X線,ガンマ線,微粒子線または宇宙線の測定
29放射線ビームに関してなされる測定,例.ビームの位置または断面;放射線の空間分布の測定
G21K 5/04 2006.01
G物理学
21核物理;核工学
K他に分類されない粒子線または電離放射線の取扱い技術;照射装置;ガンマ線またはX線顕微鏡
5照射装置
04ビーム形成手段をもつもの
CPC
H05G 2/00
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
GX-RAY TECHNIQUE
2Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
出願人
  • 株式会社IHI IHI Corporaion [JP/JP]; 〒1358710 東京都江東区豊洲三丁目1番1号 Tokyo 1-1, Toyosu 3-Chome, Koto-ku Tokyo 1358710, JP (AllExceptUS)
  • 国立大学法人東京大学 The University of Tokyo [JP/JP]; 〒1138654 東京都文京区本郷七丁目3番1号 Tokyo 3-1, Hongo 7-Chome, Bunkyo-ku Tokyo 1138654, JP (AllExceptUS)
  • 独立行政法人放射線医学総合研究所 National Institute of Radiological Sciences [JP/JP]; 〒2638555 千葉県千葉市稲毛区穴川四丁目9番1号 Chiba 9-1, Anagawa 4-Chome, Inage-ku, Chiba-shi Chiba 2638555, JP (AllExceptUS)
  • 石田 大典 ISHIDA, Daisuke [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 野瀬 裕之 NOSE, Hiroyuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 金子 七三雄 KANEKO, Namio [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 上坂 充 UESAKA, Mitsuru [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 坂本 文人 SAKAMOTO, Fumito [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 土橋 克広 DOBASHI, Katsuhiro [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者
  • 石田 大典 ISHIDA, Daisuke; JP
  • 野瀬 裕之 NOSE, Hiroyuki; JP
  • 金子 七三雄 KANEKO, Namio; JP
  • 上坂 充 UESAKA, Mitsuru; JP
  • 坂本 文人 SAKAMOTO, Fumito; JP
  • 土橋 克広 DOBASHI, Katsuhiro; JP
代理人
  • 堀田 実 HOTTA, Minoru; 〒1080014 東京都港区芝五丁目26番20号 建築会館4階 アサ国際特許事務所 Tokyo ASA INTERNATIONAL PATENT FIRM 4F, Kenchiku-Kaikan, 26-20, Shiba 5-chome Minato-ku Tokyo 1080014, JP
優先権情報
2006-08038323.03.2006JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) APPARATUS AND METHOD FOR MEASURING PROFILE OF ELECTRONIC BEAM AND LASER BEAM
(FR) appareil et méthode pour mesurer le profil d'un faisceau électronique et d'un faisceau laser
(JA) 電子ビーム及びレーザービームのプロファイル測定装置及び方法
要約
(EN)
An apparatus for measuring profiles of electronic beams and laser beams is provided with a profile measuring apparatus (30) for measuring the cross-section profile of each beam in the vicinity of a collision position where an electronic beam (1) and a laser beam (3) are brought to a frontal collision; and a moving apparatus (40) for continuously moving the profile measuring apparatus in a prescribed direction which substantially accords with the axial direction of each beam. Furthermore, based on the cross-section profile provided by the profile measuring apparatus, the position of the cross-section profile in a prescribed direction, and beam oscillation timing, changes of the three-dimensional profiles of electronic beams and laser beams with time are formed by a profile forming apparatus (50).
(FR)
L'invention concerne un appareil permettant de mesurer les profils des faisceaux électroniques et des faisceaux laser, ledit appareil comportant un appareillage de mesure du profil (30) destiné à mesurer le profil de la section droite de chacun des faisceaux à proximité de la zone de collision lorsqu'un faisceau électronique (1) et un faisceau laser (3) viennent en collision frontale ; et un appareillage de déplacement (40) destiné à déplacer de manière continue l'appareillage de mesure du profil dans une direction donnée qui se trouve être approximativement la direction de l'axe de chacun des faisceaux. De plus, en se basant sur le profil de la section droite fourni par l'appareillage de mesure de profil, sur la position du profil de la section droite dans une direction donnée et sur la périodicité de l'oscillation du faisceau, les modifications dans le temps des profils tridimensionnels des faisceaux électroniques et des faisceaux laser sont représentées par un appareil de formation de profil (50).
(JA)
 電子ビーム1とレーザービーム3が正面衝突する衝突位置近傍の各ビームの断面プロファイルを測定するプロファイル測定装置30と、プロファイル測定装置を各ビームの軸方向にほぼ一致する所定の方向に連続的に移動する移動装置40とを備える。さらにプロファイル形成装置50により、プロファイル測定装置による断面プロファイル、その所定方向の位置、及びビームの発振タイミングから電子ビーム及びレーザービームの3次元プロファイルの時間変化を形成する。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報