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1. (WO2007105785) 分子ポンプ、及びフランジ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/105785    国際出願番号:    PCT/JP2007/055172
国際公開日: 20.09.2007 国際出願日: 15.03.2007
IPC:
F04D 19/04 (2006.01)
出願人: EDWARDS JAPAN LIMITED [JP/JP]; 1078-1, Yoshihashi, Yachiyo-shi Chiba 2768523 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MAEJIMA, Yasushi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OHTACHI, Yoshinobu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
WADA, Rumiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ENOMOTO, Yoshihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
BAILEY, Chris [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
STEPHENSON, Dawn [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
WILSON, Kate [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MAEJIMA, Yasushi; (JP).
OHTACHI, Yoshinobu; (JP).
WADA, Rumiko; (JP).
ENOMOTO, Yoshihiro; (JP).
BAILEY, Chris; (JP).
STEPHENSON, Dawn; (JP).
WILSON, Kate; (JP)
代理人: NAKANO, Hitoshi; B1 Umeya Bldg., 12-8, Nishishinjuku 8-chome, Shinjuku-ku Tokyo 1600023 (JP)
優先権情報:
2006-071722 15.03.2006 JP
2006-167968 16.06.2006 JP
発明の名称: (EN) MOLECULAR PUMP AND FLANGE
(FR) POMPE MOLECULAIRE ET BRIDE
(JA) 分子ポンプ、及びフランジ
要約: front page image
(EN)This invention is directed to the easy formation of an impact buffer structure. An impact buffer structure for consuming impact energy is provided in a molecular pump in its flange (61d). An insertion hole (40d) is provided in a flange. A buffer member (50d) formed of an independent small component is fitted into and fixed to the insertion hole. A bolt hole (14d) through which a bolt (65) is inserted is provided within the buffer member, for fixing the flange to a vacuum vessel. Thin-wall parts (82,83) are provided in the buffer member by forming hollow parts (72,73). Upon the occurrence of impact in a rotational direction of a rotor part inthe molecular pump, for example, by breaking of the rotor part, the flange, together with the molecular pump, is slid in a rotational direction of the rotor part. This causes the bolt, through which the flange is fixed to the vacuum vessel in its flange to each other, hits against the buffer member resulting in plastic deformation of the buffer member. The plastic deformation of the buffer member consumes energy for molecular pump rotation and can buffer the impact generated in the molecular pump.
(FR)La présente invention concerne la formation facile d'une structure d'amortissement d'impact. Une structure d'amortissement d'impact pour consommer l'énergie d'impact est prévue dans une pompe moléculaire dans sa bride (61d). Un trou d'insertion (40d) est prévu dans une bride. Un élément d'amortissement (50d) formé d'un composant indépendant de petite taille est installé dans et fixé au trou d'insertion. Un trou de boulon (14d) à travers lequel est inséré un boulon (65) est prévu à l'intérieur de l'élément d'amortissement pour fixer la bride à un récipient sous vide. Des partie à paroi mince (82,83) sont prévues dans l'élément d'amortissementen formant des parties creuses (72,73). Lors de l'occurrence d'impact dans une direction de rotation d'une partie de rotor dans la pompe moléculaire, par exemple, par freinage de la partie de rotor, la bride, conjointement à la pompe moléculaire, coulisse dans une direction de rotation de la partie de rotor. Ceci fait en sorte que le boulon, par lequel la bride est fixée au récipient sous vide dans sa bride, frappe l'élément d'amortissement, entraînant la déformation plastique de l'élément d'amortissement. La déformation plastique de l'élément d'amortissement consomme l'énergie de rotation de pompe moléculaire et peut amortir l'impact générédans la pompe moléculaire.
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)