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1. WO2007105435 - 移動装置及び電子部品試験装置

公開番号 WO/2007/105435
公開日 20.09.2007
国際出願番号 PCT/JP2007/053179
国際出願日 21.02.2007
IPC
G01R 31/26 2006.01
G物理学
01測定;試験
R電気的変量の測定;磁気的変量の測定
31電気的性質を試験するための装置;電気的故障の位置を示すための装置;試験対象に特徴のある電気的試験用の装置で,他に分類されないもの
26個々の半導体装置の試験
CPC
G01R 31/2893
GPHYSICS
01MEASURING; TESTING
RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
31Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
2851Testing of integrated circuits [IC]
2893Handling, conveying or loading, e.g. belts, boats, vacuum fingers
出願人
  • 株式会社アドバンテスト ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 〒1790071 東京都練馬区旭町一丁目32番1号 Tokyo 32-1, Asahicho 1-chome, Nerima-ku, Tokyo 1790071, JP (AllExceptUS)
  • 島田 健一 SHIMADA, Kenichi [JP/JP]; JP (UsOnly)
  • 増尾 芳幸 MASUO, Yoshiyuki [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者
  • 島田 健一 SHIMADA, Kenichi; JP
  • 増尾 芳幸 MASUO, Yoshiyuki; JP
代理人
  • とこしえ特許業務法人 TOKOSHIE PATENT FIRM; 〒1600023 東京都新宿区西新宿8丁目14番24号 西新宿KFビル704 Tokyo Nishishinjyuku KF Bldg. 704 14-24, Nishishinjyuku 8-chome Shinjyuku-ku, Tokyo 160-0023, JP
優先権情報
2006-05671202.03.2006JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) MOVING APPARATUS AND ELECTRONIC COMPONENT TESTING APPARATUS
(FR) APPAREIL MOBILE ET APPAREIL DE TEST DE COMPOSANT ELECTRONIQUE
(JA) 移動装置及び電子部品試験装置
要約
(EN)
An air cylinder (123) vertically moves a suction head (303e) for sucking and holding an IC device in an electronic component testing apparatus. The air cylinder is provided with a cylinder tube (123a); a piston (123c); a first hollow chamber (123d) formed below the piston (123c); a second hollow chamber (123f) formed above the piston (123c) and has a larger pressure receiving area of the piston (123c) than that in the first hollow chamber (123d); and a rod (123h) whose one end is connected to the piston (123c) and the other end is connected to a suction head (303e). The first hollow chamber (123d) is connected to an air supply apparatus through a first supply system which ensures air supply even when a power supply of the electronic component testing apparatus is interrupted. The second hollow chamber (123f) is connected to the air supply apparatus through a second supply system having a shut-off valve.
(FR)
Un vérin pneumatique (123) déplace verticalement une tête (303e) d'aspiration pour aspirer et maintenir un circuit imprimé dans un appareil de test de composant électronique. Le vérin pneumatique est équipé d'un tube (123a) de vérin, d'un piston (123c), d'une première chambre creuse (123d) formée sous le piston (123c), d'une seconde chambre creuse (123f) formée au dessus du piston (123c) et présente une zone de réception de pression du piston (123c) plus grande que celle dans la première chambre creuse (123d), et une tige (123h) dont une des extrémités est reliée au piston (123c) et l'autre extrémité est relié à une tête d'aspiration (303e). La première chambre creuse (123d) est reliée à un appareil d'alimentation en air par un premier système d'alimentation qui assure une alimentation en air même lorsque l'alimentation électrique de l'appareil de test de composant électronique est interrompue. La seconde chambre creuse (123f) est reliée à l'appareil d'alimentation en air par un second système d'alimentation comportant une vanne d'isolement.
(JA)
 電子部品試験装置においてICデバイスを吸着保持する吸着ヘッド(303e)を上下動させるエアシリンダ(123)は、シリンダチューブ(123a)と、ピストン(123c)と、ピストン(123c)の下方に形成された第1の中空室(123d)と、ピストン(123c)の上方に形成され、第1の中空室(123d)よりもピストン(123c)の受圧面積が大きな第2の中空室(123f)と、一端がピストン(123c)に連結され、他端が吸着ヘッド(303e)に連結されたロッド(123h)と、を有し、第1の中空室(123d)は、電子部品試験装置の電源が遮断されてもエア供給が確保される第1の供給系統を介してエア供給装置に接続され、第2の中空室(123f)は、開閉弁を有する第2の供給系統を介してエア供給装置に接続されている。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報