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1. WO2007102598 - 静電保持装置及びそれを用いた真空環境装置並びに接合装置

公開番号 WO/2007/102598
公開日 13.09.2007
国際出願番号 PCT/JP2007/054642
国際出願日 09.03.2007
IPC
H02N 13/00 2006.01
H電気
02電力の発電,変換,配電
N他類に属しない電機
13静電気の吸引力を用いたクラッチ,把持装置,例.ジョンソン一ラーベック効果を用いたもの
H01L 21/683 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
67製造または処理中の半導体または電気的固体装置の取扱いに特に適用される装置;半導体または電気的固体装置もしくは構成部品の製造または処理中のウエハの取扱いに特に適用される装置
683支持または把持のためのもの
CPC
H01L 21/6833
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
LSEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
21Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
683for supporting or gripping
6831using electrostatic chucks
6833Details of electrostatic chucks
H02N 13/00
HELECTRICITY
02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
13Clutches or holding devices using electrostatic attraction, e.g. using Johnson-Rahbek effect
Y10T 279/23
YSECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
279Chucks or sockets
23with magnetic or electrostatic means
出願人
  • 筑波精工株式会社 TSUKUBA SEIKO LTD. [JP/JP]; 〒3290617 栃木県河内郡上三川町大字上蒲生字願成寺2168-10 Tochigi 2168-10, Aza Ganjoh-ji, Oaza Kamikamou Kaminokawa-machi Kawachi-gun Tochigi3290617, JP (AllExceptUS)
  • 傅 寶莱 POH, Fow-Lai [MY/JP]; JP (UsOnly)
発明者
  • 傅 寶莱 POH, Fow-Lai; JP
代理人
  • 西脇 民雄 NISHIWAKI, Tamio; 〒1040061 東京都中央区銀座6丁目6番7号 朝日ビルディング7階 Tokyo Asahi Bldg. 7F 6-7, Ginza 6-chome Chuo-ku Tokyo1040061, JP
優先権情報
2006-06402009.03.2006JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ELECTROSTATIC HOLDING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE MAINTIEN ELECTROSTATIQUE
(JA) 静電保持装置及びそれを用いた真空環境装置並びに接合装置
要約
(EN)
An electrostatic holding device (100) includes a plurality of electrodes (112a, 112b) as holding portions and applies a predetermined high voltage to the electrodes (112a, 112b) so as to hold holding objects (W1, W2) by electrostatic force. Each electrode module (110) has a high voltage generation unit for converting a low voltage into a predetermined high voltage required for electrostatic holding or a high voltage generation source (114). Moreover, the high voltage generation unit (114) is closed or sealed. The high voltage generation unit may include a voltage amplification circuit. Moreover, the high voltage generation unit may include a cell and a boosting circuit.
(FR)
L'invention concerne un dispositif de maintien électrostatique (100) qui comporte une pluralité d'électrodes (112a, 112b) se présentant sous la forme de sections de maintien, le dispositif injectant aux électrodes (112a, 112b) une haute tension prédéterminée permettant de retenir des objets(W1, W2) aptes à être retenus par la force électrostatique. Chaque module d'électrode (110) possède une unité de génération de haute tension destinée à convertir une basse tension en une haute tension prédéterminée laquelle est requise pour assurer le maintien électrostatique, ou bien une source de génération de haute tension (114). En outre, cette unité de génération de haute tension (114) est étanche ou hermétique. L'unité de génération de haute tension peut comporter un circuit amplificateur de tension. De plus, l'unité de génération de haute tension peut abriter une cellule et un circuit auxiliaire.
(JA)
複数の電極群(112a、112b)を保持部として電極群(112a、112b)へ所定の高電圧を印加して保持対象物(W1,W2)を静電気力により保持する静電保持装置(100)である。低電圧から静電保持に必要な所定の高電圧へ変換するための高電圧発生部又は高電圧発生源(114)を各電極モジュール(110)毎に配設している。また、この高電圧発生部(114)は、密閉又は封止されている。この高電圧発生部は、電圧増幅回路を含んで構成されてもよい。また、この高電圧発生部は、電池と昇圧回路とを含んで構成されてもよい。
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