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1. (WO2007102454) 温度調整方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/102454    国際出願番号:    PCT/JP2007/054158
国際公開日: 13.09.2007 国際出願日: 05.03.2007
IPC:
H01L 21/31 (2006.01), H01L 21/22 (2006.01)
出願人: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. [JP/JP]; 14-1, Sotokanda 4-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1018980 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SUGISHITA, Masashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
UENO, Masaaki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SUGISHITA, Masashi; (JP).
UENO, Masaaki; (JP)
代理人: YUI, Tohru; 21 TOWA BLDG. 3F, 4-6-1, Iidabashi, Chiyoda-ku, Tokyo 1020072 (JP)
優先権情報:
2006-063684 09.03.2006 JP
発明の名称: (EN) TEMPERATURE REGULATION METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE RÉGULATION DE LA TEMPÉRATURE
(JA) 温度調整方法
要約: front page image
(EN)A temperature regulation method contributive to enhancement of work efficiency and cost reduction. The temperature regulation method comprises a step for determining heat quantity from the temperature rise starting time of a temperature detected by a second temperature detection means to the maximum temperature time when the heating means in heat treatment equipment is controlled at a heating control section based on a first output control pattern obtained by performing integration, differentiation and proportion on a temperature detected by a first temperature detection means under first temperature setting conditions, and determining a second output control pattern using a heat quantity obtained by subtracting the output of proportional operation from the heat quantity thus determined, and a step for correcting the part of different conditions using the second output control pattern if second temperature setting conditions for next time temperature control is different from at least one of the first temperature setting conditions.
(FR)L'invention porte sur un procédé de régulation de température améliorant l'efficacité d'une tâche et en réduisant le coût. Ledit procédé de régulation de température comprend: une étape de détermination de la quantité de chaleur entre le début d'une élévation de température détectée par un deuxième détecteur et le moment ou la température maximale est atteinte lorsque moyen de chauffage est régulé dans une unité ad hoc en fonction d'un premier schéma de régulation des résultats obtenu, en effectuant des opérations d'intégration, de différentiation et de proportionalisation sur une température détectée par un premier moyen de détection dans de premières conditions de fixation de la température, et en déterminant un deuxième schéma de régulation des résultats en utilisant la quantité de chaleur obtenue en soustrayant le résultat de l'opération de proportionalisation de la quantité de chaleur ainsi déterminée; et une étape de correction de la partie des conditions différentes utilisant le deuxième schéma de régulation des résultats, si les conditions de fixation de la deuxième température de la phase suivante de régulation de la température diffèrent d'au moins l'une des conditions de fixation de la première température.
(JA) 作業効率の向上およびコストダウンに寄与することのできる温度調整方法を提供する。  熱処理装置における加熱手段の制御において、加熱制御部により、第一の温度検出手段による検出温度が第一の温度設定条件で積分演算、微分演算および比例演算を行って得られた第一の出力制御パターンに基づき制御する際の、第二の温度検出手段により検出される検出温度の昇温開始時から最大温度時までの間の熱量を求め、該熱量の中から前記比例演算による出力分を差し引いた熱量を用いて第二の出力制御パターンを求める工程と、次回に温度制御する際の第二の温度設定条件が前記第一の温度設定条件のうち少なくとも一つの条件が異なる場合には、前記第二の出力制御パターンを用いて前記異なる条件の部分を修正する修正工程とを有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MT, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)