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1. WO2007102298 - 回転駆動装置及び電子ビーム照射装置

公開番号 WO/2007/102298
公開日 13.09.2007
国際出願番号 PCT/JP2007/052576
国際出願日 14.02.2007
IPC
G11B 7/26 2006.01
G物理学
11情報記憶
B記録担体と変換器との間の相対運動に基づいた情報記録
7光学的手段による記録または再生,例.光ビームの照射による記録,低パワー光ビームを用いる再生;そのための記録担体
24形状、構造または物性によって、または材料の選定によって特徴づけられる記録担体
26記録担体の製造に特に適した方法または装置
G03F 7/20 2006.01
G物理学
03写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ
Fフォトメカニカル法による凹凸化又はパターン化された表面の製造,例.印刷用,半導体装置の製造法用;そのための材料;そのための原稿;そのために特に適合した装置
7フォトメカニカル法,例.フォトリソグラフ法,による凹凸化又はパターン化された表面,例.印刷表面,の製造;そのための材料,例.フォトレジストからなるもの;そのため特に適合した装置
20露光;そのための装置
H01J 37/305 2006.01
H電気
01基本的電気素子
J電子管または放電ランプ
37放電にさらされる物体または材料を導入する設備を有する電子管,例,その試験や処理をするためのもの
30物体の局所的な処理のための電子ビームまたはイオンビーム管
305鋳造する,溶かす,脱水するまたはエッチングするためのもの
H01L 21/027 2006.01
H電気
01基本的電気素子
L半導体装置,他に属さない電気的固体装置
21半導体装置または固体装置またはそれらの部品の製造または処理に特に適用される方法または装置
02半導体装置またはその部品の製造または処理
027その後のフォトリソグラフィック工程のために半導体本体にマスクするもので,グループH01L21/18またはH01L21/34に分類されないもの
CPC
B82Y 10/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
10Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
B82Y 40/00
BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
82NANOTECHNOLOGY
YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
40Manufacture or treatment of nanostructures
G11B 7/261
GPHYSICS
11INFORMATION STORAGE
BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
7Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation ; by modifying optical properties or the physical structure; , reproducing using an optical beam at lower power ; by sensing optical properties; Record carriers therefor;
24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
26Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
261Preparing a master, e.g. exposing photoresist, electroforming
H01J 2237/06308
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
06Sources
063Electron sources
06308Thermionic sources
H01J 2237/31793
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
2237Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
30Electron or ion beam tubes for processing objects
317Processing objects on a microscale
3175Lithography
31793Problems associated with lithography
H01J 37/065
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
02Details
04Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
06Electron sources; Electron guns
065Construction of guns or parts thereof
出願人
  • パイオニア株式会社 PIONEER CORPORATION [JP/JP]; 〒1538654 東京都目黒区目黒1丁目4番1号 Tokyo 4-1, Meguro 1-chome, Meguro-ku Tokyo 1538654, JP (AllExceptUS)
  • 和田 泰光 WADA, Yasumitsu [JP/JP]; JP (UsOnly)
発明者
  • 和田 泰光 WADA, Yasumitsu; JP
代理人
  • 益田 博文 MASUDA, Hirofumi; 〒1100015 東京都台東区東上野1-7-13 東上野上村ビル2階 Tokyo Higashiueno Kamimura Bldg 2nd Floor 1-7-13, Higashiueno, Taito-ku Tokyo 1100015, JP
優先権情報
2006-06382809.03.2006JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) ROTARY DRIVE APPARATUS AND ELECTRON BEAM IRRADIATION APPARATUS
(FR) APPAREIL A ENTRAINEMENT ROTATIF ET APPAREIL DE RAYONNEMENT A FAISCEAU A ELECTRONS
(JA) 回転駆動装置及び電子ビーム照射装置
要約
(EN)
[PROBLEMS] To improve durability by supplying power in a non-contact manner from a fixed side to a rotating side, by using a transformer mechanism through electromagnetic induction. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] A clamp electrode, which is arranged in a turntable and rotates with a spindle shaft is supplied with a clamp voltage from a housing side through a rotary transformer, and a substrate placed on a turntable is clamped by static electricity of the clamp electrode. Thus, power can be supplied in the non-contact manner by supplying power through the transformer mechanism through electromagnetic induction, abrasion is not caused, and durability is improved.
(FR)
La présente invention permet d'améliorer la durée de vie en amenant de la puissance sans contact d'un côté fixe vers un côté tournant, à l'aide d'un mécanisme de transformation par induction électromagnétique. La présente invention concerne une électrode de serrage, disposée dans une table tournante et tournant avec un arbre de moteur, alimentée en tension de serrage depuis un côté de boîtier à travers un transformateur rotatif, et un substrat placé sur une table tournante est serré par l'électricité statique de l'électrode de serrage. La puissance peut ainsi être amenée sans contact en amenant la puissance à travers le mécanisme de transformation par induction électromagnétique et il n'y a pas production d'abrasion, ce qui améliore ainsi la durée de vie de l'appareil.
(JA)
【課題】電磁誘導を介したトランス機構により、固定側から回転側に非接触で電力を供給することで、耐久性を向上する。 【解決手段】ターンテーブル内に設けられ回転軸とともに回転するクランプ電極に対し、筐体側からクランプ電圧をロータリトランスを介して供給し、クランプ電極の静電力によってターンテーブルに載置された基板を把持する。このように、電磁誘導を介したトランス機構により給電することで、非接触で電力を供給することができ、摩耗を招くことがなく耐久性を向上することができる。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報