処理中

しばらくお待ちください...

設定

設定

1. WO2007099658 - プラズマガン及びそれを備えるプラズマガン成膜装置

公開番号 WO/2007/099658
公開日 07.09.2007
国際出願番号 PCT/JP2006/316942
国際出願日 29.08.2006
IPC
H05H 1/24 2006.01
H電気
05他に分類されない電気技術
Hプラズマ技術;加速された荷電粒子のまたは中性子の発生;中性分子または原子ビームの発生または加速
1プラズマの生成;プラズマの取扱い
24プラズマの発生
C23C 14/32 2006.01
C化学;冶金
23金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般
C金属質への被覆;金属材料による材料への被覆;表面への拡散,化学的変換または置換による,金属材料の表面処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法または化学蒸着による被覆一般
14被覆形成材料の真空蒸着,スパッタリングまたはイオン注入法による被覆
22被覆の方法に特徴のあるもの
24真空蒸着
32爆発によるもの;蒸発およびその後の蒸気のイオン化によるもの
CPC
C23C 14/32
CCHEMISTRY; METALLURGY
23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
14Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
22characterised by the process of coating
24Vacuum evaporation
32by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours ; , e.g. ion-plating
H01J 37/32431
HELECTRICITY
01BASIC ELECTRIC ELEMENTS
JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
37Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
32Gas-filled discharge tubes, ; e.g. for surface treatment of objects such as coating, plating, etching, sterilising or bringing about chemical reactions
32431Constructional details of the reactor
H05H 1/54
HELECTRICITY
05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
HPLASMA TECHNIQUE
1Generating plasma; Handling plasma
54Plasma accelerators
出願人
  • 新明和工業株式会社 SHINMAYWA INDUSTRIES, LTD. [JP/JP]; 〒6658550 兵庫県宝塚市新明和町1番1号 Hyogo 1-1, Shinmeiwa-cho, Takarazuka-shi, Hyogo 6658550, JP (AllExceptUS)
  • 丸中 正雄 MARUNAKA, Masao; null (UsOnly)
  • 土屋 貴之 TSUCHIYA, Takayuki; null (UsOnly)
  • 寺倉 厚広 TERAKURA, Atsuhiro; null (UsOnly)
発明者
  • 丸中 正雄 MARUNAKA, Masao; null
  • 土屋 貴之 TSUCHIYA, Takayuki; null
  • 寺倉 厚広 TERAKURA, Atsuhiro; null
代理人
  • 角田 嘉宏 SUMIDA, Yoshihiro; 〒6500031 兵庫県神戸市中央区東町123番地の1 貿易ビル3階 有古特許事務所 Hyogo ARCO PATENT OFFICE, 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031, JP
優先権情報
2006-05460301.03.2006JP
公開言語 (言語コード) 日本語 (JA)
出願言語 (言語コード) 日本語 (JA)
指定国 (国コード)
発明の名称
(EN) PLASMA GUN AND PLASMA GUN FILM FORMING APPARATUS PROVIDED WITH SAME
(FR) CANON A PLASMA ET APPAREIL DE FORMATION DE FILM DE CANON A PLASMA FOURNI AVEC
(JA) プラズマガン及びそれを備えるプラズマガン成膜装置
要約
(EN)
A plasma gun (1) is provided with a container (72) having a plasma discharge port (70); a cathode (18) arranged inside the container (72) for generating plasma; an auxiliary anode (31) which can be arranged between the plasma discharge port (70) and the cathode (18) and can receive plasma generated by the cathode (18); and an exhaust valve (26) for exhausting and sealing the inside of the container (72). The plasma gun is also provided with a plasma discharge preventing/permitting apparatus (30) for preventing and permitting discharge of plasma, which is generated by electrical discharge from the cathode (18), from the plasma discharge port (70).
(FR)
La présente invention concerne un canon à plasma (1) muni d'un contenant (72) ayant un orifice de décharge de plasma (70), une cathode (18) placée dans le contenant (72) pour générer le plasma, une anode auxiliaire (31) qui peut être agencée entre le port de décharge de plasma (70) et la cathode (18) et qui peut recevoir le plasma généré par la cathode (18), ainsi qu'une vanne d'échappement (26) pour échapper et sceller l'intérieur du contenant (72). Le canon à plasma est également muni d'un appareil de prévention/d'autorisation de décharge du plasma (30) pour empêcher et autoriser la décharge du plasma, généré par une décharge électrique de la cathode (18), à partir du port de décharge du plasma (70).
(JA)
本発明のプラズマガン(1)は、プラズマ流出口(70)を有する容器(72)と、容器(72)の内部に配設され放電によりプラズマを発生するカソード(18)と、プラズマ流出口(70)とカソード(18)との間に位置可能に設けられ、カソード(18)で発生したプラズマを受けることが可能な補助アノード(31)と、容器(72)の内部を排気及び封止するための排気バルブ(26)と、を備え、カソード(18)の放電により発生するプラズマのプラズマ流出口(70)からの流出を阻止及び許容するプラズマ流出阻止/許容装置(30)と、を備える。
国際事務局に記録されている最新の書誌情報