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1. (WO2007097466) 測定装置及び方法、処理装置及び方法、パターン形成装置及び方法、露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/097466    国際出願番号:    PCT/JP2007/053842
国際公開日: 30.08.2007 国際出願日: 21.02.2007
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), G01B 11/00 (2006.01), G01D 5/38 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHIBAZAKI, Yuichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHIBAZAKI, Yuichi; (JP)
代理人: TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO. Karakida Center Bldg., 1-53-9 Karakida, Tama-shi, Tokyo 2060035 (JP)
優先権情報:
2006-044591 21.02.2006 JP
発明の名称: (EN) MEASURING DEVICE AND METHOD, PROCESSING DEVICE AND METHOD, PATTERN FORMING DEVICE AND METHOD, EXPOSING DEVICE AND METHOD, AND DEVICE FABRICATING METHOD
(FR) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE MESURE, PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE TRAITEMENT, PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE FORMATION DE MOTIFS, PROCÉDÉ ET DISPOSITIF D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DESDITS DISPOSITIFS
(JA) 測定装置及び方法、処理装置及び方法、パターン形成装置及び方法、露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法
要約: front page image
(EN)An encoder system (39X1, 39X2, 39Y1, 39Y2, 62B, 62D, 62A, 62D) good in the short-term stability of a measured value measures position information on a moving object (WTB) in an XY plane with high accuracy without the influence of the air turbulence. A surface position measuring system (74, 76) measures position information on the moving body in the direction of Z-axis perpendicular to the XY plane with high accuracy without the influence of the air turbulence. Both the encoder system and the surface position measuring system directly measure position information on the top surface of the moving body, thereby enabling simple and direct control of the position of the moving body.
(FR)Un système de codage (39X1, 39X2, 39Y1, 39Y2, 62B, 62D, 62A, 62D) à bonne stabilité à court terme d'une valeur mesurée mesure des informations de position sur un objet en mouvement (WTB) dans un plan XY, avec une grande précision, sans être influencé par la turbulence de l'air. Un système de mesure de position en surface (74, 76) mesure des informations de position sur le corps en mouvement dans le sens de l'axe Z perpendiculaire au plan XY, avec une grande précision, sans être influencé par la turbulence de l'air. Le système de codage et le système de mesure de position en surface mesurent directement des informations de position sur la surface supérieure du corps en mouvement, permettant ainsi un contrôle simple et direct de la position du corps en mouvement.
(JA)計測値の短期安定性が良好なエンコーダシステム(39X1,39X2,39Y1,39Y2、62B,62D,62A,62D)によって移動体(WTB)のXY平面内の位置情報が空気揺らぎの影響を受けることなく、高精度に計測されるとともに、面位置計測システム(74,76)によって移動体のXY平面に直交するZ軸方向における位置情報が空気揺らぎの影響を受けることなく、高精度に計測される。この場合、エンコーダシステム及び面位置計測システムの両者とも、移動体上面を直接的に計測しているので、シンプルでかつ直接的な移動体の位置制御が可能になる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)