WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2007097432) アモルファスカーボン膜の成膜方法及びそれを用いた半導体装置の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/097432    国際出願番号:    PCT/JP2007/053432
国際公開日: 30.08.2007 国際出願日: 23.02.2007
IPC:
H01L 21/3065 (2006.01), C23C 16/26 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NOZAWA, Toshihisa [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ISHIKAWA, Hiraku [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NOZAWA, Toshihisa; (JP).
ISHIKAWA, Hiraku; (JP)
代理人: YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office Room 323, Fuji Bldg. 2-3, Marunouchi 3-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
2006-048312 24.02.2006 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR FORMING AMORPHOUS CARBON FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE USING SAME
(FR) PROCÉDÉ DE FORMATION D'UN FILM DE CARBONE AMORPHE ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN DISPOSITIF À SEMI-CONDUCTEUR CONTENANT LEDIT FILM
(JA) アモルファスカーボン膜の成膜方法及びそれを用いた半導体装置の製造方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a method for forming an amorphous carbon film, which is characterized by comprising a step for placing a substrate in a process chamber, a step for supplying a process gas containing carbon, hydrogen and oxygen into the process chamber, and a step for depositing an amorphous carbon on the substrate by decomposing the process gas by heating the substrate in the process chamber.
(FR)Procédé de formation d'un film de carbone amorphe, qui consiste à placer un substrat dans une chambre de traitement, à introduire un gaz de processus contenant du carbone, de l'hydrogène et de l'oxygène dans la chambre de traitement et à déposer un carbone amorphe sur le substrat par décomposition du gaz de traitement provoquée par la chauffe du substrat dans la chambre de traitement.
(JA) 本発明は、処理容器内に基板を配置する工程と、前記処理容器内に炭素と水素と酸素とを含む処理ガスを供給する工程と、前記処理容器内の基板を加熱することによって前記処理ガスを分解し、当該基板上にアモルファスカーボン膜を堆積する工程と、を備えたことを特徴とするアモルファスカーボン膜の成膜方法である。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)