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1. (WO2007097380) パターン形成装置及びパターン形成方法、移動体駆動システム及び移動体駆動方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法

Pub. No.:    WO/2007/097380    International Application No.:    PCT/JP2007/053230
Publication Date: 2007/08/30 International Filing Date: 2007/02/21
IPC: H01L 21/027
G03F 7/20
G03F 7/207
G03F 9/00
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
SHIBAZAKI, Yuichi
柴崎 祐一
Inventors: SHIBAZAKI, Yuichi
柴崎 祐一
Title: パターン形成装置及びパターン形成方法、移動体駆動システム及び移動体駆動方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法
Abstract:
 空間像計測装置は、その一部がウエハステージ(WST)に設けられ、且つ残りの一部が計測ステージ(MST)に設けられており、投影光学系(PL)により形成されるマークの空間像を計測する。このため、例えばその空間像計測装置により、投影光学系(PL)のベストフォーカス位置を計測する際に、空間像計測装置の一部が設けられたウエハステージの投影光学系の光軸(AX)と平行な方向に関する位置をそのベストフォーカス位置の基準として計測を行うことが可能となる。従って、照明光(IL)で物体(W)を露光する際に、このベストフォーカス位置の計測結果に基づいて、ウエハステージ(WST)の光軸(AX)と平行な方向に関する位置が高精度に調整される。