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1. (WO2007097329) 成膜装置および発光素子の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/097329    国際出願番号:    PCT/JP2007/053085
国際公開日: 30.08.2007 国際出願日: 20.02.2007
IPC:
H05B 33/10 (2006.01), C23C 14/06 (2006.01), H01L 51/50 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-Chome, Minato-Ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NOZAWA, Toshihisa [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
WATANABE, Shingo [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NOZAWA, Toshihisa; (JP).
WATANABE, Shingo; (JP)
代理人: ITOH, Tadahiko; 32nd Floor, Yebisu Garden Place Tower, 20-3, Ebisu 4-Chome, Shibuya-Ku, Tokyo 1506032 (JP)
優先権情報:
2006-045343 22.02.2006 JP
発明の名称: (EN) FILM FORMING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING LIGHT EMITTING ELEMENT
(FR) APPAREIL DE FORMATION DE FILM ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ÉLÉMENT ÉLECTROLUMINESCENT
(JA) 成膜装置および発光素子の製造方法
要約: front page image
(EN)A film forming apparatus is provided with a processing container having a holding table for holding a substrate to be processed inside the container; a gas material generating section arranged outside the processing container, for generating a gas material by evaporating or sublimating a film forming material including a metal; a gas material supplying section for supplying the processing container with the gas material; and a transport path for transporting the gas material to the gas material supplying section from the gas material generating section. The film forming apparatus is characterized in that a layer including a metal is formed on an organic layer including a light emitting layer on the substrate to be processed.
(FR)Appareil de formation de film qui comporte un récipient de traitement pourvu d'un plateau de retenue destiné à retenir un substrat à traiter à l'intérieur du récipient, une partie de production de matière gazeuse située à l'extérieur du récipient de traitement et destinée à produire une matière gazeuse par évaporation ou sublimation d'une matière formant un film et contenant un métal, une partie d'alimentation en matière gazeuse destinée à alimenter le récipient de traitement en matière gazeuse, et un trajet de transport pour le transport de la matière gazeuse de la partie de production de matière gazeuse à la partie d'alimentation en matière gazeuse. Ledit appareil de formation de film est caractérisé en ce qu'une couche contenant un métal est formée sur une couche organique comprenant une couche électroluminescente sur le substrat à traiter.
(JA) 被処理基板を保持する保持台を内部に備えた処理容器と、金属を含む成膜原料を蒸発または昇華させて気体原料を生成する、前記処理容器の外部に設置された気体原料生成部と、前記処理容器内に前記気体原料を供給する気体原料供給部と、前記気体原料を前記気体原料生成部から前記気体原料供給部に輸送する輸送路と、を有し、前記被処理基板上の発光層を含む有機層上に金属を含む層を形成するように構成されていることを特徴とする成膜装置。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)