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1. (WO2007097199) 熱処理装置、ヒータ及びその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/097199    国際出願番号:    PCT/JP2007/052144
国際公開日: 30.08.2007 国際出願日: 07.02.2007
IPC:
H01L 21/22 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KOBAYASHI, Makoto [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YAMAGA, Kenichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SAITO, Takanori [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KOBAYASHI, Makoto; (JP).
YAMAGA, Kenichi; (JP).
SAITO, Takanori; (JP)
代理人: YOSHITAKE, Kenji; Kyowa Patent & Law Office Room 323, Fuji Bldg., 2-3 Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku Tokyo 1000005 (JP)
優先権情報:
2006-042707 20.02.2006 JP
発明の名称: (EN) HEAT TREATMENT EQUIPMENT, HEATER AND ITS MANUFACTURING METHOD
(FR) EQUIPEMENT DE TRAITEMENT THERMIQUE, ELEMENT CHAUFFANT ET SON PROCEDE DE FABRICATION
(JA) 熱処理装置、ヒータ及びその製造方法
要約: front page image
(EN)Heat treatment equipment in which, a degree of freedom in design of air outlet is high temperature drop rate at each section of a heater can be regulated through design of air outlet without requiring a regulation valve, channel structure is simplified, sealing is facilitated and the cost is reduced. The heat treatment equipment (1) comprises a processing vessel (2) performing heat treatment while containing heat treatment bodies (w) in multistage, a tubular heater (3) covering the outer circumference of the processing vessel (2) and heating the heat treatment bodies (w), an exhaust heat system (25) for discharging the atmosphere in a space (24) between the heater (3) and the processing vessel (2), and a cooling means (26) for cooling the interior of the space (24) by supplying cooling fluid. The heater (3) comprises a tubular thermal insulation material (17), a heating resistor (18) provided on the inner circumference of the thermal insulation material (17), and a covering (20) provided on the outer circumference of the thermal insulation material (17). The cooling means (26) has a single or a plurality of annular channels (28) formed in the height direction between the thermal insulation material (17) and the covering (20), and air outlets (29) provided in the thermal insulation material (17) in order to supply cooling fluid from each annular channel (28) in the central direction of the thermal insulation material (17) or the central oblique direction thereof.
(FR)La présente invention concerne un équipement de traitement thermique dans lequel, il y a une grande liberté de conception en ce qui concerne la sortie d'air, la vitesse de réduction de la température à chaque section d'un élément chauffant peut être régulée grâce à la conception de la sortie d'air sans nécessiter de valve de régulation, la structure du canal est simplifiée, l'étanchéité est facilitée et le coût est réduit. L'équipement de traitement thermique (1) comprend : un récipient de traitement (2) effectuant un traitement thermique tout en renfermant des corps destinés au traitement thermique (w) à étages multiples ; un élément chauffant tubulaire (3) couvrant la circonférence externe du récipient de traitement (2) et chauffant les corps destinés au traitement thermique (w) ; un système d'évacuation de la chaleur (25) destiné à évacuer l'atmosphère dans un espace (24) se trouvant entre l'élément chauffant (3) et le récipient de traitement (2), et des moyens de refroidissement (26) destinés à refroidir l'intérieur de l'espace (24) par l'alimentation en fluide de refroidissement. L'élément chauffant (3) se compose d'un matériau isolant thermique tubulaire (17), d'une résistance chauffante (18) disposée sur la circonférence interne du matériau isolant thermique (17) et d'un revêtement (20) disposé sur la circonférence externe du matériau isolant thermique (17). Les moyens de refroidissement (26) possèdent un seul ou une pluralité de canaux annulaires (28) formés dans le sens de la hauteur entre le matériau isolant thermique (17) et le revêtement (20), et des sorties d'air (29) disposées dans le matériau isolant thermique (17) en vue d'acheminer le fluide de refroidissement à partir de chaque canal annulaire (28) selon la direction centrale du matériau isolant thermique (17) ou sa direction oblique centrale.
(JA) 本発明は、吹出し孔の設計の自由度が高く、吹出し孔の設計により調整バルブを必要とすることなくヒータ各部の降温速度を調整することができ、流路構造が単純で、シールの容易化及びコストの低減が図れる熱処理装置を提供する。  熱処理装置1は、熱処理体wを多段に収容して所定の熱処理を行うための処理容器2と、該処理容器2の外周を覆って被処理体wを加熱する筒状のヒータ3と、該ヒータ3と処理容器2との間の空間24内の雰囲気を排出する排熱系25と、上記空間24内に冷却流体を吹出して冷却する冷却手段26とを備えている。上記ヒータ3は筒状の断熱材17と、この断熱材17の内周に設けられた発熱抵抗体18と、断熱材17の外周に設けられた外皮20とを有している。上記冷却手段26は上記断熱材17と外皮20の間に高さ方向に単数もしくは複数形成された環状流路28と、各環状流路28から断熱材17の中心方向もしくは中心斜め方向へ冷却流体を吹き出すべく断熱材17に設けられた吹出し孔29とを有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)