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1. (WO2007097071) 位置測定方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/097071    国際出願番号:    PCT/JP2006/321992
国際公開日: 30.08.2007 国際出願日: 02.11.2006
IPC:
G01C 3/06 (2006.01), G01S 17/48 (2006.01), G01F 23/292 (2006.01), C30B 15/26 (2006.01)
出願人: SUMCO TECHXIV CORPORATION [JP/JP]; 1324-2, Masuragahara-machi Omura-shi, Nagasaki 8568555 (JP) (米国を除く全ての指定国).
HAYASHIDA, Toshio [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MITANI, Naoji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KIHARA, Ayumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: HAYASHIDA, Toshio; (JP).
MITANI, Naoji; (JP).
KIHARA, Ayumi; (JP)
代理人: KIMIURA, Takahisa; 6F, Sendai Building 8-11, Minato 1-chome, Chuo-ku Tokyo 1040043 (JP)
優先権情報:
2006-050299 27.02.2006 JP
発明の名称: (EN) POSITION MEASURING METHOD
(FR) PROCEDE DE MESURE DE POSITION
(JA) 位置測定方法
要約: front page image
(EN)This invention provides a position measuring method comprising providing a light source and a photodetector, projecting light, which has exited from the light source, onto the surface of a melt contained in a crucible within a Czochralski oven, receiving light reflected from the surface of the melt with the photodetector, and measuring the liquid level of the surface of the melt based on the principle of triangulation, wherein a member is provided near the surface of the melt, the outgoing light is reflected from the member, the reflected light is projected onto the surface of the melt, and the light reflected from the surface of the melt is received by the photodetector.
(FR)Cette invention prévoit un procédé de mesure de position consistant à prévoir une source lumineuse et un photodétecteur, projeter une lumière, qui est sortie de la source lumineuse, sur la surface d'une coulée contenue dans un creuset à l'intérieur d'un four Czochralski, recevoir la lumière réfléchie à partir de la surface de la coulée avec le photodétecteur, et mesurer le niveau de liquide de la surface de la coulée sur la base du principe de triangulation. Dans ce procédé, un élément est prévu près de la surface de la coulée, la lumière sortante est réfléchie à partir de l'élément, la lumière réfléchie est projetée sur la surface de la coulée, et la lumière réfléchie à partir de la surface de la coulée est reçue par le photodétecteur.
(JA) 光源と受光器とを備え、前記光源から出射した出射光をチョクラルスキー炉内のるつぼの融液液面に投射し、前記融液液面で反射した反射光を前記受光器で受光し、三角測量の原理に基づいて前記融液液面の液面レベルの測定を行う位置測定方法において、前記融液液面近傍に部材を設け、出射光を、前記部材により反射させ、反射させた反射光を前記融液液面に投射し、前記融液液面で反射した反射光を前記受光器で受光するようにしている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)