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World Intellectual Property Organization
1. (WO2007086356) 解析装置および解析方法

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/086356    国際出願番号:    PCT/JP2007/050949
国際公開日: 02.08.2007 国際出願日: 23.01.2007
G01R 31/28 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
出願人: ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 1-32-1, Asahi-cho, Nerima-ku, Tokyo1790071 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SHINOHARA, Makoto [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
NAGANO, Katsuhito [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SHINOHARA, Makoto; (JP).
NAGANO, Katsuhito; (JP)
代理人: RYUKA, Akihiro; 5F, Shinjuku Square Tower, 22-1, Nishi-Shinjuku 6-chome Shinjuku-ku, Tokyo1631105 (JP)
2006-016794 25.01.2006 JP
(JA) 解析装置および解析方法
要約: front page image
(EN)An analyzing device analyzes causes of failures generated in semiconductor devices more efficiently. Provided is an analyzing device (30) for analyzing test results obtained by testing a plurality of devices having the same configuration by a testing apparatus. The analyzing device (30) is provided with an acquiring section (300) for acquiring judgment results, which are obtained by comparing read out values of data stored by performing scanning test to the devices to be tested for each flip flop, with an expected value, for a plurality of flip flops arranged in the devices to be tested by being connected by a scan chain; a result storing section (310) for storing the judgment results of each flip flop by associating them with the position in the scan chain; a synthesizing section (350) for generating synthesis results obtained by synthesizing the judgment results of the flip flop of each device to be tested for each position on the scan chain; and a display section (360) for displaying the synthesis results.
(FR)L’invention concerne un dispositif d’analyse permettant d’effectuer une analyse plus efficace des causes de défaillances survenant dans des composants à semiconducteur. Le dispositif d’analyse (30) est conçu pour analyser les résultats d’essais réalisés par un dispositif d’essai sur une pluralité de composants possédant la même configuration. Le dispositif d’analyse (30) comprend une partie d’acquisition (300) servant à acquérir des résultats d’évaluation en comparant des valeurs lues mémorisées par balayage des composants à l’essai, à une valeur attendue, pour une pluralité de bascules montées dans les composants à l’essai et reliées par une chaîne de balayage ; une partie de mémorisation de résultats (310) servant à mémoriser les résultats d’évaluation de chaque bascule en associant ceux-ci à la position de ladite bascule dans la chaîne de balayage ; une partie de synthèse (350) servant à générer des résultats de synthèse par synthèse des résultats d’évaluation de la bascule de chaque composant à l’essai pour chaque position dans la chaîne de balayage ; et une partie d’affichage (360) servant à afficher les résultats de synthèse.
(JA) 本発明に係る解析装置は、半導体デバイスに生じた不良の原因を、これまでより効率的に解析することを目的とする。  同一の構成を有する複数の被試験デバイスを試験装置により試験した試験結果を解析する解析装置30を提供する。解析装置30は、スキャンチェーンにより連結されて被試験デバイスに設けられる複数のフリップフロップに、被試験デバイスのスキャン試験を行うことにより格納されるデータを、それぞれのフリップフロップ毎に読み出した値と、期待値とを比較した判定結果を取得する取得部300と、それぞれのフリップフロップの判定結果を、スキャンチェーンにおける位置と対応付けて格納する結果格納部310と、スキャンチェーンにおける位置毎に、それぞれの被試験デバイスのフリップフロップの判定結果を合成した合成結果を生成する合成部350と、合成結果を表示する表示部360とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)