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1. (WO2007086220) 反射屈折結像光学系、露光装置、およびデバイスの製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/086220    国際出願番号:    PCT/JP2006/325711
国際公開日: 02.08.2007 国際出願日: 25.12.2006
IPC:
G02B 17/08 (2006.01), G02B 13/24 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OMURA, Yasuhiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OMURA, Yasuhiro; (JP)
代理人: YAMAGUCHI, Takao; Daiichi Bldg. 10, Kanda-tsukasacho 2-chome Chiyoda-ku, Tokyo 1010048 (JP)
優先権情報:
2006-020516 30.01.2006 JP
発明の名称: (EN) CATA-DIOPTRIC IMAGING SYSTEM, EXPOSURE DEVICE, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) SYSTEME DE PRISE D’IMAGES CATADIOPTRIQUE, DISPOSITIF D’EXPOSITION ET PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 反射屈折結像光学系、露光装置、およびデバイスの製造方法
要約: front page image
(EN)Provided is a cata-dioptric imaging system of a highly numerical aperture, which has its various aberrations satisfactorily corrected by using neither a reflecting surface having an aspherical shape of a high order nor a reciprocal optical element. The cata-dioptric imaging system forms the image of a first plane (R) on a second plane (W), and is constituted to include a first focusing system (G1) for forming a first intermediate image of the first plane on the basis of a light from the first plane, a second focusing system (G2) having two concave reflecting mirrors (CM21, CM22) for forming a second intermediate image of the first plane on the basis of a light coming from the first intermediate image, and a third focusing system (G3) for forming the final image of the first plane on the second plane on the basis of a light coming from the second intermediate image. The two concave reflecting mirrors have long spheroidal reflecting surfaces.
(FR)L’invention concerne un système de prise d’images catadioptrique offrant une grande ouverture numérique et dont les diverses aberrations sont corrigées de manière satisfaisante sans nécessiter de surface réfléchissante présentant une forme asphérique d’ordre élevé ni d’élément optique réciproque. Le système de prise d’images catadioptrique forme l’image d’un premier plan (R) sur un deuxième plan (W), et comprend un premier système de focalisation (G1) permettant de former une première image intermédiaire du premier plan à partir d’une lumière émanant du premier plan, un deuxième système de focalisation (G2) comprenant deux miroirs réfléchissants concaves (CM21, CM22) permettant de former une deuxième image intermédiaire du premier plan à partir d’une lumière provenant de la première image intermédiaire, et un troisième système de focalisation (G3) permettant de former l’image finale du premier plan sur le deuxième plan à partir d’une lumière provenant de la deuxième image intermédiaire. Les deux miroirs réfléchissants concaves présentent de longues surfaces réfléchissantes sphéroïdales.
(JA) 高次非球面形状の反射面および往復光学素子を用いることなく諸収差が良好に補正された高開口数の反射屈折結像光学系。第1面(R)の像を第2面(W)上に形成する本発明の反射屈折結像光学系は、第1面からの光に基づいて第1面の第1中間像を形成する第1結像系(G1)と、2つの凹面反射鏡(CM21,CM22)を有し、第1中間像からの光に基づいて第1面の第2中間像を形成する第2結像系(G2)と、第2中間像からの光に基づいて第1面の最終像を第2面上に形成する第3結像系(G3)とにより構成されている。2つの凹面反射鏡は、長偏球面状の反射面を有する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)