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1. (WO2007077878) 気体圧制御アクチュエータ、気体圧制御アクチュエータ用気体軸受機構及び気体圧制御アクチュエータを用いた微小変位出力装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/077878    国際出願番号:    PCT/JP2006/326081
国際公開日: 12.07.2007 国際出願日: 27.12.2006
IPC:
F15B 15/14 (2006.01), F16C 32/06 (2006.01), G12B 5/00 (2006.01), H01L 21/68 (2006.01)
出願人: PNEUMATIC SERVO CONTROLS LTD. [JP/JP]; 2266-22, Anagahora, Shimoshidami, Moriyama-ku, Nagoya-shi Aichi 4630003 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SASAKI, Katsumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HIRAYAMA, Tomoko [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SASAKI, Katsumi; (JP).
HIRAYAMA, Tomoko; (JP)
代理人: YOSHIDA, Kenji; 34-12, Kichijoji-honcho 1-chome Musashino-shi, Tokyo 1800004 (JP)
優先権情報:
2005-374358 27.12.2005 JP
2006-215216 08.08.2006 JP
2006-219999 11.08.2006 JP
2006-261300 26.09.2006 JP
発明の名称: (EN) GAS PRESSURE CONTROL ACTUATOR, GAS BEARING MECHANISM FOR THE GAS PRESSURE CONTROL ACTUATOR, AND MINUTE DISPLACEMENT OUTPUT DEVICE USING THE GAS PRESSURE CONTROL ACTUATOR
(FR) ACTIONNEUR DE REGULATION DE PRESSION DE GAZ, MECANISME DE PALIER A GAZ POUR LEDIT ACTIONNEUR, ET DISPOSITIF DE SORTIE DE DEPLACEMENT INFIME UTILISANT LEDIT ACTIONNEUR
(JA) 気体圧制御アクチュエータ、気体圧制御アクチュエータ用気体軸受機構及び気体圧制御アクチュエータを用いた微小変位出力装置
要約: front page image
(EN)In a gas pressure control actuator (100), a plurality of annular flat-plate movers (20) including curved springs and annular flat plates are supported on a support pin (22) attached to a guide portion (102). An output mover (104) applies a pushing force by a pushing gas pressure (P2) to the annular flat-plate movers (20). The curved springs have apertures for passing a gas therethrough, and the displacement rigidity of the support pin (22) in the axial direction is made smaller than that in the radial direction. The gas having a control gas pressure (P1) flows from a supply port (54) in the bottom face of a guide portion (52) through the apertures of the individual curved springs of the annular flat-plate movers (20) to the clearances between the adjoining annular flat-plate movers (20). Those clearances can be adjusted by controlling the control gas pressure (P1) while balancing with the pushing force. The whole moving range is enlarged by increasing the number of the clearances along the axial direction.
(FR)La présente invention concerne un actionneur de régulation de pression de gaz (100) dans lequel une pluralité d’organes de déplacement de plaque plate annulaire (20) qui comprennent des ressorts incurvés et des plaques plates annulaires sont supportés sur une goupille de support (22) fixée à une partie de guidage (102). Un organe de déplacement de sortie (104) applique une force de poussée par l’intermédiaire d’une pression de gaz de poussée (P2) sur les organes de déplacement de plaque plate annulaire (20). Les ressorts incurvés comportent des ouvertures pour faire passer un gaz à travers celles-ci, et la rigidité de déplacement de la goupille de support (22) dans la direction axiale est inférieure à celle dans la direction radiale. Le gaz possédant une pression de gaz de régulation (P1) s’écoule à partir d’un orifice d’alimentation (54) dans la face inférieure d’une partie de guidage (52) à travers les ouvertures des ressorts incurvés individuels des organes de déplacement de plaque plate annulaire (20) jusqu’aux espaces libres entre les organes contigus de déplacement de plaque plate annulaire (20). Ces espaces libres peuvent être ajustés en régulant la pression de gaz de régulation (P1) tout en réalisant un équilibre avec la force de poussée. La plage de déplacement entière est agrandie en augmentant le nombre des espaces libres le long de la direction axiale.
(JA) 気体圧制御アクチュエータ(100)は、案内部(102)に取り付けられた支持軸(22)に、雲形バネと円環状平板とを含む円環状平板可動子(20)が複数支持される。出力可動子(104)は押付力用気体圧Pによる押付力を複数の円環状平板可動子(20)に与える。雲形バネは、気体が流れることができる窓を有し支持軸(22)の軸方向への変位剛性が径方向への剛性よりも小さい。制御気体圧Pを有する気体は、案内部(52)の底面の供給口(54)から複数の円環状平板可動子(20)の各雲形バネの窓を通って、隣接する円環状平板可動子(20)の間の隙間を流れる。制御気体圧Pを制御し、押付力と釣り合わせつつこれらの隙間量を調整することができる。全移動量範囲は、軸方向に沿った隙間の数を増加することで拡大される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)