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1. (WO2007074752) チルトセンサ及びエンコーダ
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/074752    国際出願番号:    PCT/JP2006/325712
国際公開日: 05.07.2007 国際出願日: 25.12.2006
IPC:
G01B 11/26 (2006.01), G01D 5/38 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SENDAI NIKON CORPORATION [JP/JP]; 277, Tako Aza Hara, Natori-shi, Miyagi 9811221 (JP) (米国を除く全ての指定国).
IMAI, Toru [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
WATANABE, Akihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: IMAI, Toru; (JP).
WATANABE, Akihiro; (JP)
代理人: TATEISHI, Atsuji; TATEISHI & CO. Karakida Center Bldg. 1-53-9, Karakida Tama-shi, Tokyo 2060035 (JP)
優先権情報:
2005-377647 28.12.2005 JP
発明の名称: (EN) TILT SENSOR AND ENCODER
(FR) DÉTECTEUR D’INCLINAISON ET CODEUR
(JA) チルトセンサ及びエンコーダ
要約: front page image
(EN)An optical unit (26) is provided with a first diffraction grating (127a) and a second diffraction grating (127b) which is arranged at a position at a prescribed distance from the first diffraction grating in a Z axis direction. The status of light interfered by both the first diffraction grating and the second diffraction grating of the optical unit change corresponding to relative angle change of illuminating light projected from a light source and the optical unit. Therefore, relative angle relationship between the illuminating light and the optical unit can be measured by receiving the interference light by a light receiving element.
(FR)L’invention concerne une unité optique (26) comprenant un premier réseau de diffraction (127a) et un deuxième réseau de diffraction (127b) qui est disposé à une distance donnée du premier réseau de diffraction dans le sens d’un axe Z. L’état de la lumière perturbée à la fois par le premier réseau de diffraction et par le deuxième réseau de diffraction de l’unité optique change en fonction de la modification de l'angle relatif entre la lumière d’éclairage projetée depuis une source de lumière et l’unité optique. Par conséquent, une relation angulaire relative entre la lumière d’éclairage et l’unité optique peut être mesurée en recevant la lumière perturbée à l’aide d'un élément récepteur de lumière.
(JA) 光学ユニット(26)に、第1の回折格子(127a)と、該第1の回折格子に対し、Z軸方向に関して所定距離離れた位置に設けられた第2の回折格子(127b)とが設けられており、光源から射出される照明光と、光学ユニットと、の相対的な角度変化に応じて、光学ユニットの第1の回折格子と第2の回折格子の両方で干渉する光の状態が変化する。したがって、その干渉光を受光素子で受光することにより、照明光と光学ユニットとの相対的な角度関係を計測することが可能となる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)