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1. (WO2007074509) TCPハンドリング装置およびTCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/074509    国際出願番号:    PCT/JP2005/023869
国際公開日: 05.07.2007 国際出願日: 27.12.2005
IPC:
G01R 31/26 (2006.01)
出願人: ADVANTEST CORPORATION [JP/JP]; 32-1, Asahicho 1-chome Nerima-ku, Tokyo 1790071 (JP) (米国を除く全ての指定国).
ONOZAWA, Masataka [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ICHIKAWA, Masayoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: ONOZAWA, Masataka; (JP).
ICHIKAWA, Masayoshi; (JP)
代理人: HAYAKAWA, Yuzi; Arcadia Patent Firm Suite 501, Hikawa-Annex No.2 9-5, Akasaka 6-chome Minato-ku, Tokyo 1070052 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) TCP HANDLER AND METHOD OF ALIGNING CONNECTOR IN TCP HANDLER
(FR) MANIPULATEUR TCP ET PROCÉDÉ D’ALIGNEMENT D’UN CONNECTEUR DANS LE MANIPULATEUR TCP
(JA) TCPハンドリング装置およびTCPハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法
要約: front page image
(EN)The alignment of a probe (81) of a probe card (8) with a TCP test pad (P) is automatically performed by the steps of: obtaining the coordinate data of both the TCP test pad (P) and the probe (81) of the probe card (8) by imaging the test pad (P) and the probe (81), respectively, with a second camera (6b); calculating the displacement between the test pad (P) and the probe (81) from the coordinate data of the test pad (P) and the probe (81); and moving the probe card (8) by using the probe card stage (7) according to the displacement. In this manner, the alignment of the TCP test pad (P) and the probe (81) of the probe card (8) can be performed precisely and easily.
(FR)L’alignement d’une sonde (81) d’une carte (8) à sonde munie d’une pastille de test TCP (P) est réalisée automatiquement selon l'invention par les étapes suivantes consistant à : obtenir les données de coordonnées à la fois de la pastille de test TCP (P) et de la sonde (81) de la carte (8) à sonde en formant respectivement l’image de la pastille de test (P) et de la sonde (81) avec une deuxième caméra (6b) ; calculer le déplacement entre la pastille de test (P) et la sonde (81) à partir des données de coordonnées de la pastille de test (P) et de la sonde (81) ; et déplacer la carte (8) à sonde en utilisant l’étape (7) de la carte à sonde en fonction du déplacement. L’alignement de la pastille de test TCP (P) et de la sonde (81) de la carte (8) à sonde peut ainsi être réalisé facilement et avec précision.
(JA) 第2カメラ6bにより、被試験TCPのテストパッドPを撮影して当該テストパッドPの座標データを取得するとともに、プローブカード8のプローブ81を撮影して当該プローブ81の座標データを取得し、テストパッドPの座標データおよびプローブ81の座標データから、テストパッドPとプローブ81との位置ずれ量を求め、当該位置ずれ量に基づいてプローブカードステージ7によりプローブカード8を移動させ、被試験TCPのテストパッドPに対するプローブ81の位置合わせを自動的に行う。これにより、TCPのテストパッドPとプローブカード8のプローブ81との位置合わせを、正確にかつ容易に行うことができる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)