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1. (WO2007058343) 振動子およびその製造方法

Pub. No.:    WO/2007/058343    International Application No.:    PCT/JP2006/323086
Publication Date: 2007/05/24 International Filing Date: 2006/11/20
IPC: G01C 19/56
G01C 19/5628
G01C 19/5663
H01L 41/08
H01L 41/09
H01L 41/22
H01L 41/257
H01L 41/29
H01L 41/338
Applicants: Murata Manufacturing Co., Ltd.
株式会社村田製作所
FUJIMOTO, Katsumi
藤本 克己
Inventors: FUJIMOTO, Katsumi
藤本 克己
Title: 振動子およびその製造方法
Abstract:
 生産効率がよく、電気機械結合計通の値の大きい振動子およびその製造方法を提供する。  本願発明の一実施形態である振動子20は、長手方向に延びる4つの側面22a,22b,22c,22dを有する四角柱状の振動体24を含む。そして、振動体24の1つの側面22aの全面には、共通電極26が形成される。側面22aに対向する側面22bには、その長手方向に延びるようにして、側面22bの幅方向に分割されるように分割電極28a,28bが形成される。振動体24には、第1分極部30が、振動体24の電極が形成されていない側面22c,22dから分割電極28a,28bに向かって分極するように形成され、また、第2分極部32は、振動体24の電極が形成されていない側面22c,22dから共通電極26に向かって分極するように形成される。すなわち、接合層を有しないで、厚み方向に逆向きに分極された振動子20である。