WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2007049704) デバイス製造処理装置間の接続装置及び接続方法、プログラム、デバイス製造処理システム、露光装置及び露光方法、並びに測定検査装置及び測定検査方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/049704    国際出願番号:    PCT/JP2006/321383
国際公開日: 03.05.2007 国際出願日: 26.10.2006
IPC:
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
出願人: NIKON CORPORATION [JP/JP]; 2-3, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008331 (JP) (米国を除く全ての指定国).
OKITA, Shinichi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: OKITA, Shinichi; (JP)
代理人: SHIGA, Masatake; 2-3-1, Yaesu, Chuo-ku, Tokyo 1048453 (JP)
優先権情報:
2005-314759 28.10.2005 JP
発明の名称: (EN) DEVICE MANUFACTURING APPARATUS CONNECTING APPARATUS AND CONNECTING METHOD, PROGRAM, DEVICE MANUFACTURING SYSTEM, EXPOSING APPARATUS, EXPOSING METHOD, DETERMINING/TESTING APPARATUS AND DETERMINING/TESTING METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCEDE DE LIAISON D’APPAREILS DE FABRICATION DE DISPOSITIF, PROGRAMME, SYSTEME DE FABRICATION DE DISPOSITIF, DISPOSITIF ET PROCEDE D’EXPOSITION, ET DISPOSITIF ET PROCEDE DE DETERMINATION/ESSAI
(JA) デバイス製造処理装置間の接続装置及び接続方法、プログラム、デバイス製造処理システム、露光装置及び露光方法、並びに測定検査装置及び測定検査方法
要約: front page image
(EN)A communication server (20) connects device manufacturing apparatuses such as an exposing apparatus (13) and various testing apparatuses (14a,14b,16). The communication server (20) comprises a file format converting part (53a) that converts the formats of data transmitted/received between the device manufacturing apparatuses; a communication message converting part (53b) that converts communication messages; and a communication protocol converting part (53c) that converts communication protocols. The communication server (20) receives information transmitted from a transmission source in compliance with the transmission source that is a device manufacturing apparatus, and the communication server (20) then transmits the received information to a transmission destination in compliance with the transmission destination that is another device manufacturing apparatus.
(FR)Selon cette invention, un serveur de communication (20) relie des appareils de fabrication de dispositif tels qu’un appareil d’exposition (13) et divers appareils d’essai (14a, 14b, 16). Le serveur de communication (20) comprend une unité de conversion de format de fichier (53a) qui convertit les formats de données transmises entre les appareils de fabrication de dispositif, une unité de conversion de message de communication (53b) qui convertit des messages de communication, et une unité de conversion de protocole de communication (53c) qui convertit des protocoles de communication. Le serveur de communication (20) reçoit des données émises par une source d’émission qui correspond à un appareil de fabrication de dispositif, puis il transmet les données reçues à une destination d’émission qui correspond à un autre appareil de fabrication de dispositif.
(JA) コミュニケーションサーバ(20)は、露光装置(13)及び各種検査装置(14a,14b,16)等のデバイス製造処理装置間を接続する。このコミュニケーションサーバ(20)は、デバイス製造処理装置間で送受信されるデータのフォーマットを変換するファイルフォーマット変換部(53a)、通信メッセージを変換する通信メッセージ変換部(53b)、及び通信プロトコルを変換する通信プロトコル変換部(53c)を備えており、送信元から送信される情報を、その送信元のデバイス製造処理装置に適合させて受信し、受信した情報を送信先のデバイス製造処理装置に適合させて送信する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)