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1. (WO2007049639) 位置検出装置および光学機器

Pub. No.:    WO/2007/049639    International Application No.:    PCT/JP2006/321252
Publication Date: 2007/05/03 International Filing Date: 2006/10/25
IPC: G01D 5/245
G01B 7/00
G01D 5/18
G03B 5/00
Applicants: NIKON CORPORATION
株式会社ニコン
MATSUMOTO, Tsuyoshi
松本 豪
Inventors: MATSUMOTO, Tsuyoshi
松本 豪
Title: 位置検出装置および光学機器
Abstract:
 位置検出装置は、所定方向に沿った一端側に備えられ、磁気を発生させる第1の磁気発生部、所定方向に沿った他端側に備えられ、第1の磁気発生部とは異なる極性の磁気を発生させる第2の磁気発生部、および、所定方向に沿ってその幅が変化するように第1の磁気発生部および第2の磁気発生部に形成され、第1の磁気発生部および第2の磁気発生部よりも低い磁気を発生する低磁気部を有する磁気発生装置と、所定方向に沿って磁気発生装置と相対移動可能であり、第1の磁気発生部および第2の磁気発生部から生じる磁気を検出する磁気検出装置とを備える。