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1. (WO2007049454) シート状プラズマ発生装置およびこれを用いた成膜方法並びに成膜装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/049454    国際出願番号:    PCT/JP2006/320180
国際公開日: 03.05.2007 国際出願日: 10.10.2006
IPC:
C23C 14/24 (2006.01), H05H 1/24 (2006.01)
出願人: Canon ANELVA Corporation [JP/JP]; 5-1, Kurigi 2-chome Asao-ku, Kawasaki-shi Kanagawa 215-8550 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SAITOU, Tomoyasu [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MORIWAKI, Takayuki [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SAITOU, Tomoyasu; (JP).
MORIWAKI, Takayuki; (JP)
代理人: SUZUKI, Shoji; Ohtakamico-Shinjuku Bldg., 9th Fl. 10-3, Shinjuku 1-chome, Shinjuku-ku Tokyo 1600022 (JP)
優先権情報:
2005-309810 25.10.2005 JP
発明の名称: (EN) SHEET-LIKE PLASMA GENERATOR, AND FILM DEPOSITION METHOD AND EQUIPMENT EMPLOYING SUCH SHEET-LIKE PLASMA GENERATOR
(FR) GENERATEUR DE PLASMA DE TYPE FEUILLE ET PROCEDE DE DEPOT DE FILM ET EQUIPEMENT UTILISANT UN TEL GENERATEUR DE PLASMA DE TYPE FEUILLE
(JA) シート状プラズマ発生装置およびこれを用いた成膜方法並びに成膜装置
要約: front page image
(EN)[PROBLEMS] To provide a sheet-like plasma generator in which film deposition area can be enlarged while making the film thickness distribution more uniform, and to provide film deposition equipment employing it. [MEANS FOR SOLVING PROBLEMS] The sheet-like plasma generator generates sheet-like plasma by passing a plasma beam, which led out from a plasma gun by means of a convergence coil, through a magnetic field formed by sheet magnets consisting of a pair of permanent magnets extending in the direction intersecting the advancing direction of the plasma beam perpendicularly and arranged in parallel to oppose each other, and deforming the plasma beam into a sheet-shape. The sheet magnets includes at least one sheet magnet in which repulsion field strength at a portion corresponding to the central side of the plasma beam is higher than that at a portion corresponding to the outer edge side of the plasma beam.
(FR)Le problème à résoudre dans le cadre de la présente invention consiste à proposer un générateur de plasma de type feuille selon lequel la zone de dépôt de film peut être agrandie tout en rendant plus uniforme la distribution d’épaisseur de film, et à proposer un équipement de dépôt de film l’utilisant. La solution proposée est un générateur de plasma de type feuille qui produit un plasma de type feuille en faisant passer un faisceau de plasma, qui sort d’un pistolet à plasma au moyen d’une bobine de convergence, à travers un champ magnétique constitué par des aimants sous forme de feuille constitués par une paire d'aimants permanents se prolongeant dans la direction en intersection avec la direction avançante du faisceau de plasma perpendiculairement et disposés en parallèle de manière opposée l’un par rapport à l’autre, et en déformant le faisceau de plasma sous forme de feuille. Les aimants sous forme de feuille comprennent au moins un aimant sous forme de feuille dans lequel l’intensité de champ de répulsion au niveau d’une partie correspondant à la face centrale du faisceau de plasma est supérieure à celle au niveau d’une partie correspondant à la face latérale externe du faisceau de plasma.
(JA)【課題】成膜面積の拡大を可能とし、かつ、膜厚分布をより均一化できるシート状プラズマ発生装置と、これを用いた成膜装置を提供する。 【解決手段】プラズマガンから収束コイルにより引き出したプラズマビームを、プラズマビームの進行方向に対して直交する方向に延び、対向して互いに平行に配置されて対になっている永久磁石からなるシート化マグネットによって形成される磁場の中に通過させてシート状に変形させるシート状プラズマ発生装置において、シート化マグネットには、プラズマビームの中心側に対応する部分における反発磁場強度の方が、プラズマビームの外縁側に対応する部分における反発磁場強度より強いシート化マグネットが少なくとも一つ含まれている。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)