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1. (WO2007049357) 二次電子放出率測定装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/049357    国際出願番号:    PCT/JP2005/019935
国際公開日: 03.05.2007 国際出願日: 28.10.2005
IPC:
G01N 23/225 (2006.01)
出願人: KYOTO UNIVERSITY [JP/JP]; 36-1, Yoshida-honmachi, Sakyo-ku, Kyoto-shi Kyoto 6068501 (JP) (米国を除く全ての指定国).
IDE, Ali [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
MORIMOTO, Yasuhiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: IDE, Ali; (JP).
MORIMOTO, Yasuhiko; (JP)
代理人: KYOSEI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; Toyama Bldg. 8-14, Akasaka 3-chome Minato-ku Tokyo 1070052 (JP)
優先権情報:
発明の名称: (EN) SECONDARY ELECTRON EMISSION RATE MEASURING APPARATUS
(FR) APPAREIL DE MESURE DE VITESSE D'EMISSION D'ELECTRONS SECONDAIRES
(JA) 二次電子放出率測定装置
要約: front page image
(EN)A low-cost and small secondary electron emission rate measuring apparatus is provided. The secondary electron emission rate measuring apparatus is provided with a secondary electron measuring section having a small secondary electron measuring unit and a sample holding section for holding a subject to be measured, in a vacuum chamber. The small secondary electron measuring unit is composed of a charged particle generating source, which has a tube-like electrode having an opening at the top and a bar-like electrode at the center axis section of the tube-like electrode, and generates charged particles by glow discharge plasma; an electrostatic lens for focusing charged particle beams and irradiating the subject with the focused beam; and a secondary electron collector section for capturing secondary electrons emitted from the subject. The secondary electron emission rate measuring apparatus is also provided with a gas exhaust section for depressurizing the vacuum chamber; a gas supplying section for supplying the charged particle generating source with a gas to be the charged particles; a voltage applying section and a current measuring section for applying voltages to the charged particle generating source, the electrostatic lens and the secondary electron collector electrode and measuring currents; and a control computer for controlling such sections and calculating secondary electron emission rates.
(FR)L'invention concerne un appareil de mesure de vitesse émission d'électrons secondaires de faible coût et de faible taille. L'appareil de mesure de vitesse d'émission d'électrons secondaires est muni d'une section de mesure d'électrons secondaires possédant une petite unité de mesure d'électrons secondaires et une section d'échantillonnage et blocage, destinée à retenir un sujet à mesurer dans une chambre à vide. La petite unité de mesure d'électrons secondaires est composée d'une source de génération de particules chargées qui comporte une électrode de type tube possédant une ouverture au sommet et une électrode de type tige au niveau de la section d'axe central de l'électrode de type tube, et qui génère des particules chargées par un plasma à décharge luminescente, un objectif électrostatique destiné à mettre au point les faisceaux de particules chargées et à irradier le sujet avec le faisceau réglé, ainsi qu'une section de collecteur d'électrons secondaires destinée à acquérir des électrons secondaires émis depuis le sujet. L'appareil de mesure de vitesse d'émission d'électrons secondaires est également muni d'une section d'échappement de gaz destinée à dépressuriser la chambre à vide, d'une section d'alimentation en gaz destinée à alimenter la source de génération de particules chargées pour qu'elles soient les particules chargées, d'une section d'application de tension et d'une section de mesure de courant destinées à appliquer des tensions à la source de génération de particules chargées, à l'objectif électrostatique et à l'électrode de collecteur d'électrons secondaires et à mesurer des courants, ainsi qu'un ordinateur de commande destiné à commander de telles sections et à calculer les vitesses d'émission d'électrons secondaires.
(JA)安価で小型な二次電子放出率測定装置を提供する。本発明に係る二次電子放出率測定装置は、頂部に開口部を有す筒状電極とその中心軸部に棒状電極を備え、グロー放電プラズマによって荷電粒子を生成するための荷電粒子生成源と、荷電粒子ビームを収束させ被測定物に照射するための静電レンズと、被測定物質から放出される二次電子を捕捉するための二次電子コレクター部とからなる小型二次電子測定ユニットと、被測定物を保持する試料保持部とを真空チャンバー内に備えた二次電子測定部と、真空チャンバー内を減圧にする気体排気部と、荷電粒子生成源に荷電粒子となるガスを供給する気体供給部と、荷電粒子生成源、静電レンズ及び二次電子コレクター電極に電圧を印加し、電流を測定する電圧印加部と電流測定部と、これらを制御し、二次電子放出率を算出する制御コンピュータと、から構成される。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, YU, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)