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1. (WO2007034957) 基板処理装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/034957    国際出願番号:    PCT/JP2006/319014
国際公開日: 29.03.2007 国際出願日: 26.09.2006
IPC:
H01L 21/02 (2006.01)
出願人: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. [JP/JP]; 14-1, Sotokanda 4-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1018980 (JP) (米国を除く全ての指定国).
IIDA, Tsukasa [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
YONEDA, Akihiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
INOSHIMA, Kaori [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: IIDA, Tsukasa; (JP).
YONEDA, Akihiko; (JP).
INOSHIMA, Kaori; (JP)
代理人: PATENT RELATED CORPORATION IPS; 15F., Yokohama Creation Square 5-1, Sakaecho, Kanagawa-ku Yokohama-shi, Kanagawa 2210052 (JP)
優先権情報:
2005-277618 26.09.2005 JP
2006-159513 08.06.2006 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE PROCESSING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板処理装置
要約: front page image
(EN)There is provided a substrate processing device capable of surely reporting a device operation state. The substrate processing device (100) includes a signal display device indicating an operation state. The substrate processing device (100) further includes: a signal display device (306) for setting at least one operation condition at which the signal display device (306) operates and operating at one of a plurality of operation conditions; and a display device (314) for identifying the operation condition of the operation causes when the signal display device (306) operates.
(FR)La présente invention concerne un dispositif de traitement de substrat capable de signaler avec certitude l’état de fonctionnement d’un dispositif. Le dispositif de traitement de substrat (100) comporte un dispositif d’affichage de signal indiquant un état de fonctionnement. Le dispositif de traitement de substrat (100) comporte en outre : un dispositif d’affichage de signal (306) servant à définir au moins une condition de fonctionnement pour laquelle le dispositif d’affichage de signal (306) fonctionne et fonctionnant pour une parmi une pluralité de conditions de fonctionnement ; et un dispositif d’affichage (314) servant à identifier la condition de fonctionnement des causes de fonctionnement lorsque le dispositif d'affichage de signal (306) fonctionne.
(JA)装置の稼動状態を確実に知らせることができる基板処理装置を提供する。稼動状態を示すシグナル表示機器を備えた基板処理装置100において、シグナル表示機器306が動作する少なくとも一つの動作条件を設定し、複数の動作条件のいずれかにより動作するシグナル表示機器306と、シグナル表示機器306の動作時に、動作原因が複数の動作条件のいずれかであることを表示する表示器314とを備える。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)