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1. (WO2007034808) 基板およびその製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/034808    国際出願番号:    PCT/JP2006/318586
国際公開日: 29.03.2007 国際出願日: 20.09.2006
IPC:
C30B 29/04 (2006.01), C23C 24/04 (2006.01)
出願人: NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KUMAMOTO UNIVERSITY [JP/JP]; 2-39-1, Kurokami, Kumamoto-shi, Kumamoto 8608555 (JP) (米国を除く全ての指定国).
WATANABE, Junji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TOUGE, Mutsumi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SHIMIZU, Masahiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: WATANABE, Junji; (JP).
TOUGE, Mutsumi; (JP).
SHIMIZU, Masahiro; (JP)
代理人: FUJISHIMA, Youichiro; 2F, Oodai Building 9-5, Shinjuku 1-chome Shinjuku-ku Tokyo 1600022 (JP)
優先権情報:
2005-271920 20.09.2005 JP
発明の名称: (EN) SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME
(FR) SUBSTRAT ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
(JA) 基板およびその製造方法
要約: front page image
(EN)Provided are a substrate, which has a desired shape and a high density and high quality diamond film; a method for manufacturing such substrate; and a diamond substrate. A multitude of ultrafine particles (11) made of diamond are spread on a growing substrate (silicon substrate) (10). On the ultrafine particles (11), for instance, steel balls having a diameter of 1mm-3mm are arranged, then, ultrasonic vibration in a vertical direction is applied to the growing substrate (10). The steel balls vibrate and the ultrafine particles (11) are embedded in the growing substrate (10) in a desired pattern by the applied pressure. Then, when the ultrafine particles (11) are grown by CVD method, a diamond film (14) is formed. When the growing substrate (10) is removed, only the diamond film (14) (diamond substrate) can be obtained.
(FR)Cette invention concerne un substrat, qui possède une forme souhaitée et un film de diamant à haute densité et de grande qualité, un procédé de fabrication d’un tel substrat et un substrat diamanté. Une multitude de particules de diamant ultrafines (11) sont réparties sur un substrat de croissance (substrat de silicium) (10). Des billes d’acier de diamètre compris entre 1 et 3 mm sont, par exemple, disposées sur les particules ultrafines (11) puis, une vibration ultrasonore dans un sens vertical est appliquée au substrat de croissance (10). Les billes d’acier vibrent et les particules ultrafines (11) sont intégrées, par la pression appliquée, au substrat de croissance (10) dans un motif souhaité. Ensuite, la croissance des particules ultrafines (11) selon un procédé DCPV entraîne la formation d’un film de diamant (14). Le retrait du substrat de croissance (10) permet de n’obtenir que le film de diamant (14) (substrat diamanté).
(JA)not available
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)