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1. (WO2007034749) 酸化物材料、及びスパッタリングターゲット
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/034749    国際出願番号:    PCT/JP2006/318391
国際公開日: 29.03.2007 国際出願日: 15.09.2006
IPC:
C04B 35/00 (2006.01), C23C 14/34 (2006.01)
出願人: IDEMITSU KOSAN CO., LTD. [JP/JP]; 1-1, Marunouchi 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008321 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YANO, Koki [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
INOUE, Kazuyoshi [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
TANAKA, Nobuo [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: YANO, Koki; (JP).
INOUE, Kazuyoshi; (JP).
TANAKA, Nobuo; (JP)
代理人: WATANABE, Kihei; Shibashin Kanda Bldg. 3rd Floor, 26, Kanda Suda-cho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010041 (JP)
優先権情報:
2005-276813 22.09.2005 JP
発明の名称: (EN) OXIDE MATERIAL AND SPUTTERING TARGET
(FR) MATERIAU OXYDE ET CIBLE DE PULVERISATION
(JA) 酸化物材料、及びスパッタリングターゲット
要約: front page image
(EN)Provided are an oxide material characterized in that indium (In), tin (Sn) and a metal element (M) are included, and furthermore, an ilmenite structure compound is included; a sputtering target composed of such oxide material; a transparent conducting film formed by using such sputtering target; and a transparent electrode composed of such transparent conducting film.
(FR)L'invention concerne un matériau oxyde caractérisé en ce qu'il contient de l'indium (In), de l'étain (Sn), un élément métallique (M), et un composé à structure ilménite ; une cible de pulvérisation composée dudit matériau oxyde ; un film conducteur transparent formé au moyen de ladite cible de pulvérisation ; et une électrode transparente composée dudit film conducteur transparent.
(JA)インジウム(In)、錫(Sn)、及び金属元素Mを含有し、イルメナイト構造化合物を含むことを特徴とする酸化物材料;それからなるスパッタリングターゲット;それを用いて成膜した透明導電膜;それからなる透明電極。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)