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1. (WO2007032166) 成膜装置用防着板および成膜装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/032166    国際出願番号:    PCT/JP2006/315876
国際公開日: 22.03.2007 国際出願日: 10.08.2006
IPC:
C23C 14/00 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), H01L 21/205 (2006.01)
出願人: ASAHI GLASS COMPANY, LIMITED [JP/JP]; 12-1, Yurakucho 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008405 (JP) (米国を除く全ての指定国).
SUGIYAMA, Takashi [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: SUGIYAMA, Takashi; (JP)
代理人: SENMYO, Kenji; 4th Floor, SIA Kanda Square 17, Kanda-konyacho Chiyoda-ku, Tokyo 101-0035 (JP)
優先権情報:
2005-271031 16.09.2005 JP
発明の名称: (EN) DEPOSITION PREVENTING PLATE FOR FILM FORMING APPARATUS, AND FILM FORMING APPARATUS
(FR) PLAQUE EMPÊCHANT UN DÉPÔT DESTINÉE À UN APPAREIL DE FORMATION DE FILM ET APPAREIL DE FORMATION DE FILM
(JA) 成膜装置用防着板および成膜装置
要約: front page image
(EN)A deposition preventing plate for film forming apparatus, especially one in which low-defect film formation is demanded, that is capable of avoiding the cause of film defect attributed to detachment of film from a deposition preventing plate with a film attached thereto in a film forming apparatus and incorporation of the detached film in a film forming substrate or a film formed on the substrate; and a relevant film forming apparatus. There is provided a deposition preventing plate capable of preventing film attachment to structures within a film forming apparatus, characterized in that an outer face of folded part obtained by folding an edge portion of deposition preventing plate, or vicinity of edge portion of deposition preventing plate, to the back consists of a curved surface with a curvature radius greater than 1/2 of the thickness of the deposition preventing plate.
(FR)La présente invention concerne une plaque empêchant un dépôt destinée à un appareil de formation de film, plus spécifiquement un appareil formant peu de films présentant des défauts qui est susceptible d’éviter la cause du défaut du film, attribuée au détachement du film d’une plaque empêchant un dépôt à laquelle est fixée est film dans un appareil de formation de film, et l’incorporation du film détaché dans un substrat de formation de film ou d’un film formé sur le substrat ; et un appareil de formation de film approprié. L’invention porte sur une plaque empêchant un dépôt qui est susceptible d’empêcher un film de se fixer sur des structures dans un appareil de formation de film, et qui se caractérise en ce qu’une face externe d’une partie pliée obtenue en pliant une partie bord d’une plaque empêchant un dépôt, ou la proximité d’une partie bord de ladite plaque, vers l’arrière se compose d’une surface courbée dont le rayon de courbure est supérieur à la moitié de l’épaisseur de la plaque empêchant un dépôt.
(JA) 成膜装置で膜の付着した防着板から膜が剥離し、剥離した膜が成膜基板上もしくは基板上に形成される膜内に取り込まれ膜欠点の原因となることを防ぐことができ、特に低欠点成膜が要求される成膜装置の防着板および成膜装置を提供する。  成膜装置内の構造物に膜が付着するのを防止する防着板であって、防着板の端部または防着板の端部近傍を裏側に折り曲げて得られる折り曲部外側が防着板の板厚の1/2より大きい曲率半径を持つ曲面で形成されることを特徴とする。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)