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1. (WO2007029789) プリント配線板の内蔵キャパシタ回路に適したPZT系誘電層の形成方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/029789    国際出願番号:    PCT/JP2006/317784
国際公開日: 15.03.2007 国際出願日: 07.09.2006
IPC:
C04B 35/491 (2006.01), H01B 3/12 (2006.01), H01G 4/12 (2006.01), H05K 3/46 (2006.01)
出願人: MITSUI MINING & SMELTING CO., LTD. [JP/JP]; 11-1, Osaki 1-chome, Shinagawa-ku, Tokyo 1418584 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKASHIMA, Hirotake [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
SUGIOKA, Akiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
ABE, Naohiko [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
KANNO, Akihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKASHIMA, Hirotake; (JP).
SUGIOKA, Akiko; (JP).
ABE, Naohiko; (JP).
KANNO, Akihiro; (JP)
代理人: YOSHIMURA, Katsuhiro; c/o Yoshimura International Patent Office Omiya F Bldg. 5-4, Sakuragicho 2-chome, Omiya-ku Saitama-shi, Saitama 3300854 (JP)
優先権情報:
2005-261337 08.09.2005 JP
発明の名称: (EN) METHOD FOR FORMATION OF PZT-TYPE DIELECTRIC LAYER SUITABLE FOR BUILT-IN CAPACITOR CIRCUIT IN PRINTED WIRING BOARD
(FR) PROCEDE DE FORMATION D'UNE COUCHE DIELECTRIQUE DE TYPE PZT ADAPTE A UN CIRCUIT A CONDENSATEUR INTEGRE DANS UNE CARTE DE CONNEXIONS IMPRIMEE
(JA) プリント配線板の内蔵キャパシタ回路に適したPZT系誘電層の形成方法
要約: front page image
(EN)This invention provides, for example, a method for the formation of a dielectric layer, which can improve withstand voltage characteristics of a PZT-type dielectric layer and can withstand high load voltage. To this end, for example, the following method for the formation of a PZT-type dielectric layer is adopted. In this method, one-unit step is repeated n times. The one-unit step comprises a series of steps consisting of preparing a PZT-type first sol-gel solution free from manganese and/or iron and a PZT-type second sol-gel solution containing manganese and/or iron, evenly coating the sol-gel solution onto the surface of a base material metal, drying the coating in an oxygen-containing atmosphere, and conducting thermal decomposition. In the repetition of n times of the one-unit step, the second sol-gel solution is used in one or more one-unit steps among the n one-unit steps, and, in the other one-unit steps, the first sol-gel solution is used. The thickness of the dielectric layer is regulated by providing a PZT-type dielectric film containing manganese and/or iron and a PZT-type dielectric film not containing manganese and/or iron in layers, and, finally, firing treating, for example, by inert gas replacement to form a PZT-type dielectric layer.
(FR)L'invention concerne, par exemple, un procédé de formation d'une couche diélectrique permettant d'améliorer les caractéristiques de tension de résistance d'une couche diélectrique de type PZT et pouvant résister à une tension à charge élevée. Dans ce but, par exemple, le procédé suivant de formation d'une couche diélectrique de type PZT est adopté. Selon ce procédé, une étape à une unité est répétée n fois. Cette étape à une unité comprend une série d'étapes consistant à préparer une première solution sol-gel de type PZT dépourvue de manganèse et/ou de fer et une seconde solution sol-gel de type PZT contenant du manganèse et/ou du fer, à appliquer de façon régulière la solution sol-gel sur la surface d'un métal de matériau de base, à sécher le revêtement dans une atmosphère contenant de l'oxygène et à effectuer la décomposition thermique. Dans la répétition n fois de l'étape à une unité, la seconde solution sol-gel est utilisée dans une ou plusieurs étapes à une unité parmi les n étapes à une unité et, dans les autres étapes à une unité, la première solution sol-gel est utilisée. L'épaisseur de la couche diélectrique est régulée par obtention d'un film diélectrique de type PZT contenant du manganèse et/ou du fer et un film diélectrique de type PZT ne contenant pas de manganèse et/ou de fer dans ces couches et finalement par traitement de calcination, par exemple par remplacement de gaz inerte pour former une couche diélectrique de type PZT.
(JA) PZT系誘電層の耐電圧特性を改善し、高い負荷電圧に耐え得る誘電層の形成方法等を提供することを目的とする。この目的を達成するため、PZT系誘電層の形成方法において、マンガン及び/又は鉄を含有しないPZT系の第1ゾル-ゲル溶液、マンガン及び/又は鉄を含有するPZT系の第2ゾル-ゲル溶液を調製し、基材金属の表面に前記ゾル-ゲル溶液を均一に塗布し、酸素含有雰囲気中で乾燥し、熱分解を行う一連の工程を1単位工程とし、この1単位工程をn回繰り返すにあたり、n回の内1以上の1単位工程に第2ゾル-ゲル溶液を用い、その他の1単位工程には前記第1ゾル-ゲル溶液を用い、マンガン及び/又は鉄を含有するPZT系誘電膜とマンガン及び/又は鉄を含有しないPZT系誘電膜とを層状にして誘電層の膜厚調整を行い、最終的に不活性ガス置換等の焼成処理を行いPZT系誘電層を形成する方法等を採用する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)