WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | Français | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

国際・国内特許データベース検索
World Intellectual Property Organization
検索
 
閲覧
 
翻訳
 
オプション
 
最新情報
 
ログイン
 
ヘルプ
 
自動翻訳
1. (WO2007029524) 圧力を制御した微細加工方法および微細加工装置
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/029524    国際出願番号:    PCT/JP2006/316733
国際公開日: 15.03.2007 国際出願日: 25.08.2006
IPC:
H01L 21/027 (2006.01), B29C 59/02 (2006.01), B81C 99/00 (2010.01), B82B 3/00 (2006.01)
出願人: SCIVAX CORPORATION [JP/JP]; ACROPOLIS21BLDG. 2ND FLOOR 4-10, HIGASHINIHONBASHI 3-CHOME, CHUO-KU, Tokyo 1030004 (JP) (米国を除く全ての指定国).
KUSUURA, Takahisa [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
FUJII, Mitsuru [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: KUSUURA, Takahisa; (JP).
FUJII, Mitsuru; (JP)
代理人: GOCHO, Tatsushi; Acropolis21BLDG. 2ND FLOOR 4-10, Higashinihonbashi 3-Chome Chuo-ku, Tokyo 1030004 (JP)
優先権情報:
2005-256479 05.09.2005 JP
発明の名称: (EN) METHOD OF MICROFABRICATION UNDER CONTROLLED PRESSURE AND MICROFABRICATION APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ DE MICROFABRICATION SOUS PRESSION CONTRÔLÉE ET APPAREIL DE MICROFABRICATION
(JA) 圧力を制御した微細加工方法および微細加工装置
要約: front page image
(EN)A method of microfabrication in which pressure is applied to die (100) with given pattern and processing object (200) of a resin, etc. to thereby transfer the pattern to a surface to be shaped of the processing object (200), which method comprises the heating step of heating the die (100) and the processing object (200) at respective given temperatures and the pressure application step of after the heating step, pressing the die (100) and the processing object (200) at a pressure of 1 MPa or below. Further, there is provided microfabrication apparatus (1) for realization of the microfabrication method. Accordingly, adhesion of the die (100) with the processing object (200) is inhibited, and any shape losing of the pattern transferred to the processing object is prevented.
(FR)La présente invention concerne un procédé de microfabrication dans lequel la pression est appliquée à une matrice (100) avec un motif donné et un objet de traitement (200) d’une résine, etc. pour ainsi transférer le motif sur une surface devant être façonnée de l’objet de traitement (200), ledit procédé comprend l’étape de chauffage consistant à chauffer la matrice (100) et l’objet de traitement (200) à des températures données respectives et l’étape d’application de pression après l’étape de chauffage, consistant à presser la matrice (100) et l’objet de traitement (200) à une pression de 1 MPa ou inférieure. En outre, il est fourni un appareil de microfabrication (1) pour réalisation du procédé de microfabrication. Par conséquent, l’adhésion de la matrice (100) avec l’objet de traitement (200) est empêchée, et toute perte de forme du motif transféré à l’objet de traitement est évitée.
(JA) 所定のパターンを有する型100と樹脂等の加工対象物200とを押圧して、パターンを加工対象物200の被成型面に転写する微細加工方法において、型100と加工対象物200をそれぞれ所定温度に加熱する加熱工程と、加熱工程の後、型100と前記加工対象物200とを1MPa以下の圧力で押圧する押圧工程と、を有する微細加工方法およびこれを実現するための微細加工装置1を提供し、型100と加工対象物200とが接着するのを抑制し、加工対象物に転写されたパターンの型崩れの発生を防止する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)