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1. (WO2007026762) クリーニング方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/026762    国際出願番号:    PCT/JP2006/317103
国際公開日: 08.03.2007 国際出願日: 30.08.2006
IPC:
H01L 21/26 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
出願人: TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; 3-6, Akasaka 5-chome, Minato-ku, Tokyo 1078481 (JP) (米国を除く全ての指定国).
MAEKAWA, Koji [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: MAEKAWA, Koji; (JP)
代理人: TAKAYAMA, Hiroshi; 7th Floor, Daiichi Shinwa Building 10-8, Akasaka 2-chome Minato-ku, Tokyo 107-0052 (JP)
優先権情報:
2005-251819 31.08.2005 JP
発明の名称: (EN) CLEANING METHOD
(FR) PROCEDE DE NETTOYAGE
(JA) クリーニング方法
要約: front page image
(EN)Cleaning is performed under the conditions of a pressure of 133.3Pa or below and a temperature of 700-1,100°C, by introducing a cleaning gas including N2 and O2 into a treatment chamber of a substrate treatment apparatus such as an RTP apparatus, in a status where a carrier which carries out contaminating substances by adhering them thereon is arranged. Such cleaning is repeatedly performed by successively replacing a plurality of carriers.
(FR)L’invention concerne un procédé de nettoyage selon lequel le nettoyage est effectué dans des conditions de pression d’au plus 133,3 Pa et de température comprise entre 700 et 1 100 °C, en introduisant un gaz de nettoyage comprenant N2 et O2 dans une chambre de traitement d’un appareil de traitement d’un substrat tel qu’un appareil RTP, un véhicule permettant d’éliminer les substances contaminantes en les faisant adhérer à sa surface étant utilisé. Un tel nettoyage est réalisé de manière répétée en remplaçant successivement une pluralité de véhicules.
(JA) RTP装置などの基板処理装置の処理室内に、汚染物質を付着させてこれを運び出すキャリアを配備した状態でNとOを含むクリーニングガスを導入し、圧力133.3Pa以下、温度700°C~1100°Cの条件でクリーニングを行う。このクリーニングを複数のキャリアを順次入れ替えて繰り返し実施する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)