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1. (WO2007026739) 耐食性部材、これを用いた処理装置および試料処理方法ならびに耐食性部材の製造方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/026739    国際出願番号:    PCT/JP2006/317059
国際公開日: 08.03.2007 国際出願日: 30.08.2006
IPC:
C04B 35/10 (2006.01), C04B 35/44 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
出願人: KYOCERA CORPORATION [JP/JP]; 6, Takeda Tobadono-cho, Fushimi-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6128501 (JP) (米国を除く全ての指定国).
NAKAHARA, Masahiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
HAYASAKI, Tetsuji [JP/JP]; (JP) (米国のみ).
OKAWA, Yoshihiro [JP/JP]; (JP) (米国のみ)
発明者: NAKAHARA, Masahiro; (JP).
HAYASAKI, Tetsuji; (JP).
OKAWA, Yoshihiro; (JP)
代理人: SHIOTANI, Takashi; 1-10-7-401, Shinmachi Nishi-ku, Osaka-shi, Osaka 5500013 (JP)
優先権情報:
2005-251983 31.08.2005 JP
発明の名称: (EN) CORROSION RESISTANT MEMBER, TREATMENT APPARATUS AND SAMPLE TREATMENT METHOD USING THE MEMBER, AND METHOD FOR MANUFACTURE OF CORROSION RESISTANT MEMBER
(FR) ÉLÉMENT RÉSISTANT À LA CORROSION, APPAREIL DE TRAITEMENT ET PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'ÉCHANTILLON UTILISANT L’ÉLÉMENT, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE L’ÉLÉMENT RÉSISTANT À LA CORROSION
(JA) 耐食性部材、これを用いた処理装置および試料処理方法ならびに耐食性部材の製造方法
要約: front page image
(EN)Disclosed is a corrosion resistant member (1) comprising a sintered material having an &agr;-Al2O3 crystal (2) and an YAG (yttrium-aluminum-garnet) crystal (3). The corrosion resistant member (1) contains, as metal elements, 70 to 98% by mass (inclusive) of Al in terms of Al2O3 and 2 to 30% by mass of Y in terms of Y2O3. The corrosion resistant member (1) has a peak intensity ratio I116/I104 within the range from 0.94 to 1.98, preferably 1.21 or higher, wherein I116 and I104 represent peak intensities attributed to the (116) face and the (104) face, respectively, of an &agr;-Al2O3 crystal as measured by X-ray diffractometry on its surface layer.
(FR)La présente invention concerne un élément résistant à la corrosion (1) comprenant un matériau fritté ayant un cristal d’&agr;-Al2O3 (2) et un cristal d’YAG (yttrium-aluminium-grenat) (3). L’élément résistant à la corrosion (1) contient, comme éléments métalliques, de 70 à 98 % en masse (inclus) d'aluminium sous la forme d’Al2O3 et de 2 à 30 % en masse d’yttrium sous la forme d’Y2O3. L’élément résistant à la corrosion (1) a un rapport d'intensités maximales I116/I104 dans la gamme allant de 0,94 à 1,98, de préférence supérieur ou égal à 1,21, I116 et I104 représentant les intensités maximales attribuées à la face (116) et à la face (104), respectivement, d'un cristal d'&agr;-Al2O3 ainsi mesurées par diffraction des rayons X sur sa couche de surface.
(JA) 本発明は、α-Al結晶2およびYAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)結晶3を有する焼結体からなる耐食性部材1に関するものである。この耐食性部材1は、金属元素としてAlをAl換算で70質量%以上98質量%以下、YをY換算で2質量%以上30質量%以下含有している。耐食性部材1は、表層部におけるX線回折のα-Al結晶の(116)面および(104)面に帰属するピーク強度をそれぞれI116およびI104としたとき、ピーク強度比I116/I104の値が0.94以上1.98以下とされている。好ましくは、ピーク強度比I116/I104は、1.21以上とされる。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)