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1. (WO2007026649) 蒸着ヘッド装置及び蒸着塗布方法
国際事務局に記録されている最新の書誌情報   

Translation翻訳: 原文 > 日本語
国際公開番号:    WO/2007/026649    国際出願番号:    PCT/JP2006/316874
国際公開日: 08.03.2007 国際出願日: 28.08.2006
IPC:
C23C 14/32 (2006.01), H01L 21/363 (2006.01), H01L 51/50 (2006.01), H05B 33/10 (2006.01)
出願人: MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. [JP/JP]; 1006, Oaza Kadoma, Kadoma-shi, Osaka 5718501 (JP) (米国を除く全ての指定国).
YOSHIDA, Hidehiro; (米国のみ).
NAKASHIMA, Seiji; (米国のみ)
発明者: YOSHIDA, Hidehiro; .
NAKASHIMA, Seiji;
代理人: TANAKA, Mitsuo; AOYAMA & PARTNERS, IMP Building 3-7, Shiromi 1-chome, Chuo-ku Osaka-shi, Osaka 5400001 (JP)
優先権情報:
2005-247098 29.08.2005 JP
発明の名称: (EN) VAPOR DEPOSITION HEAD DEVICE AND METHOD OF COATING BY VAPOR DEPOSITION
(FR) DISPOSITIF À TÊTE DE DÉPÔT EN PHASE GAZEUSE ET PROCÉDÉ DE REVÊTEMENT PAR DÉPÔT EN PHASE GAZEUSE
(JA) 蒸着ヘッド装置及び蒸着塗布方法
要約: front page image
(EN)A cell for material heating (100) which is disposed in a chamber (140) having a nozzle part (120) at one end and in which a solid material (20) is held is heated. A fluid is supplied from the other end of the chamber toward the nozzle part of the chamber, whereby the material vaporized from the material-heating cell which is being heated is guided to the nozzle part and ejected from the nozzle part. Simultaneously therewith, a gas for regulating the vapor deposition material so as to go straight is blown outside the nozzle part of the chamber toward the tip of the nozzle part to regulate the material ejected from the nozzle part so as to go straight.
(FR)La présente invention concerne une cellule destinée au chauffage de matériau (100), disposée dans une chambre (140) dotée d’une partie buse (120) à une extrémité et renfermant un matériau solide (20), qui est chauffée. Un fluide est acheminé depuis l’autre extrémité de la chambre vers la partie buse de la chambre, moyennant quoi le matériau vaporisé depuis la cellule chauffée destinée au chauffage de matériau est guidé vers la partie buse et en est expulsé. Simultanément, un gaz servant à contrôler la matériau de dépôt en phase gazeuse pour qu’il se dirige en ligne droite est projeté à l’extérieur de la partie buse de la chambre vers la pointe de la partie buse et ce, afin de contrôler le matériau expulsé depuis la partie buse pour qu’il se dirige en ligne droite.
(JA) ノズル部(120)を一端に有するチャンバー(140)内に配置されかつ固体の材料(20)を保持する材料加熱用セル(100)を加熱し、前記チャンバーの他端側から前記チャンバーの前記ノズル部に向けて流体を供給して、前記加熱された前記材料加熱用セルから蒸発した材料を前記ノズル部に案内し、前記ノズル部から吐出させるとともに、前記チャンバーの前記ノズル部の外部において前記ノズル部の先端部に向かって蒸着材料直進制御用気体を吹き付けて、前記ノズル部から吐出した前記材料を直進制御する。
指定国: AE, AG, AL, AM, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IS, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MD, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PG, PH, PL, PT, RO, RS, RU, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, SV, SY, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
アフリカ広域知的所有権機関(ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LS, MW, MZ, NA, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
ユーラシア特許庁(EAPO) (AM, AZ, BY, KG, KZ, MD, RU, TJ, TM)
欧州特許庁(EPO) (AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, NL, PL, PT, RO, SE, SI, SK, TR)
アフリカ知的所有権機関(OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
国際公開言語: Japanese (JA)
国際出願言語: Japanese (JA)